邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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更新時(shí)間:2024-05-17 11:06:38瀏覽次數(shù):1790
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,電子 |
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光刻機(jī)分為半自動(dòng)和全自動(dòng)兩大系列。MEMA-800是研發(fā)中心和大學(xué)中的微機(jī)開發(fā)。操縱器,壓力傳感器,加速度傳感器,功率設(shè)備等。倒裝芯片/BGA/CSP的暴露。暴露于光學(xué)/高速通信組件中。
二、技術(shù)參數(shù):
1、目標(biāo)分離:15?75毫米;
2、總放大倍率:100倍;
3、觀察照明器:紅色LED(λ= 633 nm);
4、X,Y平臺移動(dòng)范圍:±5毫米;
5、θ調(diào)整:±5°
6、主體電源和水銀燈:交流100V 50 / 60Hz 15A
7、真空源:低于21.3 Kpa(大氣壓為-80 Kpa)
8、鏡片:積分鏡
9、汞燈:250W超高壓蒸汽汞燈
10、有效接觸面積:大φ100毫米
11、強(qiáng)度分布:±5%以下
12、照度:20 mW / cm 2 (405納米)
13、曝光時(shí)間控制:數(shù)字計(jì)時(shí)器和旋轉(zhuǎn)螺線管
14、汞燈照明裝置:交流110V
三、產(chǎn)品特點(diǎn):
經(jīng)濟(jì),緊湊和高級性能
在視場中查看兩個(gè)對準(zhǔn)標(biāo)記的融合圖像。
用于曝光的積分鏡。
LED照明器