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          Nanocalc 系列膜厚測量儀

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          • 北京征程創(chuàng)拓科技有限公司
          • 2024-11-14 10:03:03
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          【簡單介紹】

          Nanocalc 系列膜厚測量儀NanoCalc-2000是一種用戶可配置的膜厚測量系統(tǒng),它利用分光光譜反射儀來精確地測量光學或非光學薄膜厚度,可廣泛用于半導體、醫(yī)療和工業(yè)生產(chǎn)中。

          【詳細說明】

          Nanocalc系列膜厚測量儀的原理:

          利用白光干涉測量法的原理,NanoCalc-2000用一個寬光譜的光源來測得不同波長的反射數(shù)據(jù),由于反射率n和消光系數(shù)k隨膜厚的不同而變化,NanoCalc-2000根據(jù)這一特性來進行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc-2000中,不同類型材料的相應參數(shù)通過不同的模型來描述,從而保證了不同類型材料膜厚測量的準確性。

          Nanocalc系列膜厚測量儀的特點:

          • UV/VIS/NIR高分辨率的配置
          • 測量準確度在1nm,精度在0.1nm
          • 可測量4層薄膜的任意3層
          • 薄膜測量zui小可至10nm,zui大可至400um
          • 可測量zui小1nm厚的透明金屬層
          • 提供用于復雜外形材料測量的試驗臺及附件
          • 對表面缺陷和光滑度不敏感
          • 龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫,保證各種材料的精確測量

          NanoCalc-2000-UV/VIS/NIR膜厚測量儀的技術參數(shù):

           

              
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