目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>分析儀器>>流體測量儀器>> FPSIN-BCT-400硅錠壽命測量儀
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硅錠壽命測量儀是精確的非接觸式測量本體壽命的儀器,適合任意生長硅錠表面任意曲率半徑硅錠測量壽命。也適合單晶硅硅錠和多晶硅硅錠壽命測量。
硅錠壽命測量儀特點
壽命1-10+ms壽命范圍的高純硅測量
測量B-Cz硅生長,不要表面處理
對于多晶硅模塊,可給出壽命和陷阱密度等數(shù)據(jù)。
探測B-O缺陷,鐵污染和表面損傷等
監(jiān)控初始材料在Cz, Fz,多多晶硅或UMG硅的質(zhì)量
硅錠壽命測量儀規(guī)格參數(shù)
測量指標(biāo):壽命,電阻率和trap density
壽命測量范圍:100ns~10ms
電阻率測量范圍:0.5~300Ohm-cm
測量分析模式:QSSPC,瞬態(tài),壽命分析
光偏置范圍:0-50suns
樣品表面:平整表面或者150mm直徑以內(nèi)的多種表面
典型校準(zhǔn)范圍:10^13-10^16 cm^-3
光譜:白光和IR光照明
傳感器面積:45x 15mm
測量深度:3mm
工作溫度:20~25度
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)