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          目錄:孚光精儀(中國(guó))有限公司>>激光微納加工系統(tǒng)>>紫外曝光機(jī)>> KLOE-UV-KUB3桌面型紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī)

          桌面型紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī)
          • 桌面型紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 品牌 其他品牌
          • 型號(hào) KLOE-UV-KUB3
          • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
          • 所在地 上海市
          屬性

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          更新時(shí)間:2024-05-17 16:00:26瀏覽次數(shù):936評(píng)價(jià)

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          桌面型紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī)是shoukuan裝備有紫外LED光源的mask aligner,是掩膜對(duì)準(zhǔn)器中的理想冷光源紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī)。能夠在4英寸工作面積上實(shí)現(xiàn)2微米微結(jié)構(gòu),對(duì)準(zhǔn)精度高達(dá)3微米,廣泛用于光刻掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光,適用于微流體芯片,微電子,光學(xué)微結(jié)構(gòu),MEMS等微納器件的光刻制作。

          桌面型紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī)是全球shoukuan裝備有紫外LED光源mask aligner,是掩膜對(duì)準(zhǔn)器中的理想冷光源紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī)。能夠在4英寸工作面積上實(shí)現(xiàn)2微米微結(jié)構(gòu),對(duì)準(zhǔn)精度高達(dá)3微米,廣泛用于光刻掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光,適用于微流體芯片,微電子,光學(xué)微結(jié)構(gòu),MEMS等微納器件的光刻制作。
          桌面型紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī)
          桌面型紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī)參數(shù)
          分辨率:2微米
          接收掩膜大?。?英寸 (2英寸可選)
          接收襯底大小:2-4英寸, 50x50mm 到 100x100mm
          系統(tǒng)可視分辨率:3微米 (1.5微米可選)
          掩膜/襯底測(cè)量距離分辨率:0.5微米
          theta襯底位移分辨率:5.10-4度
          XYZ襯底位移分辨率:0.4微米(0.2微米可選)
          波長(zhǎng):365nm 或 405nm
          功率密度:35mW/cm^2
          曝光中襯底升溫:<1攝氏度
          曝光時(shí)間:1秒到18小時(shí)
          可編程曝光循環(huán):>100個(gè)
          尺寸:475x475x478mm
          重量:55kg
          觸摸屏:15.6寸彩色觸摸屏
          電力要求:220V
          用電功耗:180W
          桌面型紫外掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī)


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