目錄:孚光精儀(中國(guó))有限公司>>激光微納加工系統(tǒng)>>科研級(jí)飛秒微加工>> NUT-micro-stage飛秒激光微加工平臺(tái)
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更新時(shí)間:2024-04-02 08:59:31瀏覽次數(shù):20642評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,汽車 |
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這套飛秒激光微加工平臺(tái)特別為飛秒激光微加工用戶而設(shè)計(jì)的納米級(jí)激光微加工平臺(tái),廣泛適合主流的飛秒激光器和皮秒激光器,全面滿足科學(xué)家和工程師自我搭建激光微加工系統(tǒng)的要求, 已經(jīng)在美國(guó)和歐洲被科學(xué)家和激光微納設(shè)備制造商廣泛采購(gòu)使用。
這套激光微加工平臺(tái)采用微加工領(lǐng)域主流的花崗巖架構(gòu),有效濾除振動(dòng)對(duì)微加工的影響,確保激光光束相對(duì)樣品表面保持的穩(wěn)定。
激光微加工平臺(tái)采用罕見的納米位移平臺(tái)為樣品提供定位,保持了的定位精度,可靠性和重復(fù)性。
飛秒激光微加工平臺(tái)參數(shù):
行程范圍:375mm x 200mm x 25(50)mm x 360° x 360°
分辨率:X,Y,Z=50nm, θz/x =1.095arc sec
精度: X,Y,Z =+/-1um, θz/x =10arc sec
重復(fù)精度:X,Y,Z =0.75um, θz/x =3arc sec
正交性:X-Y-Z =3arc sec, θz-θx =10arc sec
加速度:1G
行進(jìn)速度:500mm/sec
穩(wěn)定性:1nm
控制器部分
電壓:220VAC 專業(yè)為中國(guó)電力狀況而設(shè)計(jì)
電源:5/10Amp
五軸控制能力
接口:網(wǎng)線或USB
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)