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多功能寬密度等離子體 詳細(xì)摘要: NextCVD等離子體改性及刻蝕多功能寬密度等離子體國內(nèi)的電感耦合等離子體都是基于中頻13.56MHz的電源發(fā)生器,等離子體密度較低,而且是螺旋管式,主要用于等...
產(chǎn)品型號:ICP-LP-PE-CVD 所在地:上海市 更新時間:2024-06-03 參考價: 面議 在線留言
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