GLD-051直聯(lián)型油旋片式真空泵
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
特性
ULVAC機(jī)工的GLD系列,具有低振動(dòng),低噪音及以下優(yōu)良性能:
1.氣鎮(zhèn)閥能防止蒸汽(例如水蒸汽)凝縮在泵油內(nèi)。
2.強(qiáng)制給油機(jī)構(gòu)能保證從大氣到高真空的整個(gè)排氣過程中,保持油潤滑和內(nèi)部密封。
3.逆流防止裝置在斷電時(shí)能保護(hù)真空箱。低溫確保了真空泵創(chuàng)造良好的真空度。強(qiáng)制的油過濾器可濾出泵油的雜質(zhì),通過大型刻度易讀的油量計(jì),可以隨時(shí)檢查泵油的狀況。
使用指導(dǎo)
為了zui大限度的發(fā)揮真空泵的*性能,應(yīng)注意以下幾點(diǎn):
1.GLD系列可適用于廣泛領(lǐng)域,能獲得極低的真空(10-2Pa),配置KF法蘭可獲得高真空。為發(fā)揮zui大性能請(qǐng)使用高真空法蘭。
2.GLD系列并不適用于有毒或腐蝕性氣體。(請(qǐng)選擇GCD系列:p.10)
3.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
應(yīng)用
1.科學(xué)與化學(xué)試驗(yàn),分析裝置,鐳射相關(guān)裝置。
2.電子顯微鏡的前級(jí)泵系統(tǒng)。
3.半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng),濺射系統(tǒng),真空涂層系統(tǒng)。
4.真空干燥系統(tǒng),冷凍干燥系統(tǒng)。
型 號(hào) | 實(shí)際排氣速度(L/min.) | 極限壓力 (Pa) | 吸氣管徑 (mm) | 重量 (kg) | 外形尺寸 W×L×H(mm) | 電機(jī) | |
功率(W) | 可選電壓(V) | ||||||
※ GLD-051 | 50/66 (50/60Hz) | 6.7×10-2(氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉) 6.7(氣鎮(zhèn)閥打開) | KF-25 | 13.9 | 165.5×399×222.7 | 200 | 單相100.115.200.220.230 |
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