應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造：用于芯片制造過程中的晶圓清洗、光刻、蝕刻等環(huán)節(jié)，確保芯片表面的潔凈度和性能 。

• 平板顯示器制造：在液晶顯示器、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器等制造過程中，用于清洗玻璃基板、鍍膜等工序，保證顯示器的質(zhì)量和顯示效果 。

• 光電子器件制造：如激光二極管、光電探測(cè)器等光電子器件的生產(chǎn)過程中，需要超純水進(jìn)行清洗和加工，以提高器件的性能和可靠性 。

工藝流程

• 預(yù)處理：通常包括砂濾、活性炭過濾、軟化等步驟，用于去除水中的大顆粒雜質(zhì)、有機(jī)物和硬度離子，防止它們對(duì)反滲透膜造成堵塞或損壞。

• 一級(jí)反滲透：經(jīng)過預(yù)處理的水進(jìn)入一級(jí)反滲透裝置，在壓力作用下，水通過反滲透膜，鹽分、有機(jī)物等雜質(zhì)被截留，產(chǎn)水電阻率一般在 0.05-0.5mΩ.cm，可滿足一些對(duì)水質(zhì)要求相對(duì)較低的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)需求 。

• 二級(jí)反滲透：一級(jí)反滲透的產(chǎn)水再經(jīng)過二級(jí)反滲透進(jìn)一步提純，能更有效地去除水中的殘留雜質(zhì)，使產(chǎn)水水質(zhì)更高，電阻率可達(dá)到更高水平，更接近半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的超純水標(biāo)準(zhǔn) 。

• 后續(xù)處理：為了達(dá)到半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水的嚴(yán)格要求，二級(jí)反滲透后的水還可能經(jīng)過 EDI（電去離子）裝置、離子交換樹脂、超濾、紫外燈殺菌等后續(xù)處理步驟，進(jìn)一步去除水中的微量離子、有機(jī)物和微生物等 。