渦輪分子泵由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進(jìn)入泵內(nèi)，附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而，由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn)，分子飛入下一層，并且容易穿過定子葉片再向下。 同時，從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子，也能通過與轉(zhuǎn)子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是，上層的氣體分子容易通過(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度，而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域，渦輪分子泵是通過該轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片發(fā)揮基本性能。

本公司在轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組合基礎(chǔ)上增加了“螺紋槽”構(gòu)造。被壓縮到圓筒狀的旋轉(zhuǎn)部（轉(zhuǎn)子）的壁面的氣體分子，最終沿著固定部分（定子）的螺紋槽，移到泵的排氣口一側(cè)。 由于螺紋槽的作用，渦輪分子泵(復(fù)合分子泵)不僅在分子流域，在粘滯流也能排氣，尤其在粘滯流時可以大流量排氣。 因此，渦輪分子泵的適用壓力范圍被擴(kuò)展，得到了很多用途的廣泛應(yīng)用。此外，由于可以在高背壓下運(yùn)轉(zhuǎn)，也有可能使用更小的、壓力更高的輔助泵。

無油的超真空環(huán)境

?機(jī)械式的氣體分子排氣(動態(tài)排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同

?可排稀有氣體和腐蝕性氣體

?可連續(xù)排大流量氣體

?可工作的壓力范圍寬。 (～10-10Pa）.

復(fù)合分子泵TG-F系列

使用了脂潤滑陶瓷軸承，實現(xiàn)了小型、輕量、低成本。 耐外部震動，耐沖擊能力強(qiáng)，可以把分子泵搭載到可搬式設(shè)備或設(shè)備的可動部，拓展了渦輪分子泵的新應(yīng)用。提供排氣速度50L/s ～ 2400L/s的產(chǎn)品。

• 多方位安裝

• 輕巧設(shè)計

• 節(jié)能

• 迅速啟動

• 使用破控功能可迅速停止

• 耐大氣沖擊能力強(qiáng)

• 多種通信模式

• 符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

  產(chǎn)品規(guī)格：

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  產(chǎn)品尺寸圖：

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