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CY-CVD1500-60-300-3TH-Q 1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計高真空CVD系統(tǒng)
參考價 | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-CVD1500-60-300-3TH-Q
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/12/16 11:12:45
- 訪問次數(shù) 13
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 地礦,能源,電子,冶金,航天 |
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詳情介紹:
1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計高真空CVD系統(tǒng)爐管采用高純氧化鋁制成,爐體采用一體式設(shè)計,能夠保證系統(tǒng)在1500℃運行穩(wěn)定**,加熱元件采用高品質(zhì)硅碳棒,能夠達到1500℃高溫,若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。
1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計高真空CVD系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作面板采用數(shù)字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。本系統(tǒng)還配有精密分子泵組,可以達到1.0E-3pa的真空度,較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環(huán)境。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。
技術(shù)參數(shù):
真 空 管 式 爐 | 產(chǎn)品型號 | CY-1500-60-300-Q | ||
爐管材質(zhì) | 高純氧化鋁 | |||
爐管直徑 | 60mm(可選配50mm、80mm、100mm) | |||
爐管長度 | 1000mm | |||
爐膛長度 | 400mm | |||
加熱區(qū)長 | 300mm | |||
恒溫區(qū)長 | 150mm | |||
工作溫度 | ≤1450℃ | |||
控溫精度 | ±1℃ | |||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | |||
顯示模式 | LCD | |||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | |||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 | |||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |||
供 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號 | CY-3Z | ||
氣體通道 | 3通道 | |||
測量部件 | 氣體質(zhì)量流量計 | |||
測量量程 | A通道:0~100SCCM H2氣 | 備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 | ||
B通道:0~300SCCM N2氣 | ||||
C通道:0~500SCCM Ar氣 | ||||
測量精度 | ±1.0%F.S | |||
管道耐壓 | 3MPa | |||
工作壓差 | 50~300KPa | |||
連接管道 | 304不銹鋼 | |||
控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | |||
接口規(guī)格 | 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |||
排 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號 | CY-GZK103-A | ||
分子泵 | CY-600 | |||
前極泵 | 旋片泵 | |||
抽氣速率 | 分子泵:600L/S | 綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達:1.0E-3Pa | ||
旋片泵:1.1L/S | ||||
抽氣接口 | KF40 | |||
排氣接口 | KF16 | |||
真空測量 | 復合真空計:電阻規(guī)+電離規(guī) | |||
極限真空 | 1.0E-5Pa | |||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz |
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