KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀
- 公司名稱 鄭州市金水區(qū)智研實驗室設(shè)備經(jīng)營部(個體工商戶)
- 品牌 其他品牌
- 型號 KT-Z1650CVD
- 產(chǎn)地 鄭州市西三環(huán)大學(xué)科技園東區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/12/14 9:41:46
- 訪問次數(shù) 24
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,電氣,綜合 |
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小型真空蒸鍍儀:KT—Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓,電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié)及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
小型真空蒸鍍儀 技術(shù)資料
控制方式
| 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制
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加熱方式
| 數(shù)字式功率調(diào)整器
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鍍膜功能
| 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
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功率
| ≤1200W
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輸出電壓電流
| 電壓≤12V 電流≤120A
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真空度
| 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa
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擋板類型
| 電控
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真空腔室
| 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
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樣品臺
| 可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底)
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樣品臺轉(zhuǎn)速
| 8轉(zhuǎn)/分鐘
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樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離
| 70-140mm
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蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)
| ≤1800℃
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支持蒸發(fā)坩堝類型
| 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩
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預(yù)留真空接口
| KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
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可選配擴展
| 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa)
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