172nm準(zhǔn)分子燈設(shè)備將化學(xué)上結(jié)合產(chǎn)生不了分子的疝氣等稀有氣體封在石英里，施加電壓進(jìn)行放電，原子激化與其他原子結(jié)合產(chǎn)生分子。

E + Xe → e + Xe*Xe* + Xe + Xe → Xe2* + Xe被激發(fā)出來的的激元分子(Xe2*)回到原本的狀態(tài)(基底)時(shí)發(fā)出172nm単一波長的紫外光。172nm光子能量比大多數(shù)的物質(zhì)分子結(jié)合能量要大。出現(xiàn)光子能量比分子結(jié)合力大的時(shí)候，僅通過光子的作用就能切斷分子。

172nm準(zhǔn)分子燈設(shè)備特點(diǎn)為：瞬間點(diǎn)燈、滅燈、不使用水銀無需點(diǎn)燈穩(wěn)定期、就可以瞬間點(diǎn)燈和滅燈是不使用水銀的環(huán)保型UV燈●低溫處理不會(huì)產(chǎn)生其它波長的光，工件溫度幾乎不會(huì)升高●高光能量172nm?166kcal/mol.?7.2eV的高光能可以短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行表面改質(zhì)●無損傷通過光子的作用分解分子結(jié)合，不會(huì)產(chǎn)生像電暈處理和等離子處理的顆粒和粉塵。基本不會(huì)對對基材放電，不會(huì)產(chǎn)生物理上的損傷。

有效長 150～1700mm以上 1根～數(shù)根根據(jù)必要的有效長度、數(shù)量，可以1cm為單位長度制作●照度控制功能燈的各燈的照度分開控制功能。●照射面一側(cè)沒有電極，無電極構(gòu)造燈座兼有外部電極，不需要通常燈照射面上必要的網(wǎng)眼和格子狀電極。不會(huì)有光的遮擋、損失、衰減同時(shí)也不會(huì)出現(xiàn)隨著使用時(shí)間而產(chǎn)生照度低下的問題●不需要氮?dú)?/span>即使沒有氮?dú)庖部梢蕴幚?/span>。使用氮氣時(shí)時(shí)通過燈座縫隙噴射氮?dú)猓?/span>可以大幅削減使用量●RF放電方式 沒有閃爍的超高照度燈管70mW/c㎡, 120mW/c㎡, 170mW/c㎡以上也有超過200mW/c㎡的超高照度燈