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設備名稱 | 最終清洗機 | 設備處理能力 | 50pcs/次 |
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晶圓尺寸 | 2/4/6/8/12英寸 | 藥液 | SPM /SC1/ SC2 |
材質 | sus+PP | local cds | 選配 |
全自動RCA清洗機
全自動RCA清洗機
1、設備結構簡介:
(1)設備機架采用鋼結構骨架包塑;
(2)殼體采用PP板材焊接成型,制程區(qū)由耐酸堿PP板材組合焊接而成:
(3)電氣區(qū)設置在設備后上部,與濕區(qū)和管路區(qū)隔離;
(4)槽體材料選用耐相應溶液腐蝕的材料;
(5)機械手探人濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理或為鐵氟龍加工件;
(6)為保證環(huán)境潔凈,頂部安裝有百級FFU;
2、安全保護
2 設備采用耐腐蝕導線并采用氟套管進行保護,防腐防水
2 設有防漏電斷路保護裝置
2 電控部分正壓空體保護,防水防腐
2 配有漏電流斷路保護裝置以及過溫過載保護裝置
2 設備有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統(tǒng)
2 EMO緊急開關位于機臺上方明顯處
2 蜂鳴器聲鳴提示工作完成,三色報警燈及蜂鳴聲光故障報警
2 機臺底部設有防漏盤及漏液感知
2 液位異常感知/安全液位保護
2 配有加熱保護,防干燒
3、槽體介紹
(1)SPM
石英 加熱 循環(huán) 溢流 過濾
(2)SC1
石英 加熱 循環(huán) 溢流 過濾 超聲
(3)SC2
石英 加熱 循環(huán) 溢流 過濾
(4)H-QDR
PVDF 噴淋 溢流 鼓泡 快排
(5)QDR
PVDF 噴淋 溢流 鼓泡 快排
4、質保
12個月