全自動超聲清洗機(jī)

適用材料：Si、SiC、砷化鎵、氧化鎵、氮化鎵、玻璃、石英、基板、陶瓷、InP、藍(lán)寶石、鈮酸鋰、鉭酸鋰等

適用晶片尺寸：2~12寸（方片/圓片）

清洗方式：藥劑超聲+水超聲

適用工藝段：研磨后、粗拋后、精拋后、CMP后、減薄后等工藝

全自動超聲波清洗機(jī)設(shè)備配置：

機(jī)架：SUS304

外殼：SUS304鏡面板

藥液管路：根據(jù)藥液適配

槽材質(zhì)：SUS316L  2mm

水槽材質(zhì)：PPN 10T

純水管路：Cl-PVC

排氣：SUS304

工藝槽功能：加熱+循環(huán)過濾+拋動+超聲

水槽功能：噴淋+溢流+鼓泡+快排

機(jī)械臂：SUS316

控制方式：PLC+觸控屏（或PC+觸控）

質(zhì)保：12個月

槽體功能詳細(xì)介紹：

工藝堿超聲槽

2 槽體尺寸：設(shè)計確認(rèn)

2 溶液：堿性洗劑

2 工藝溫度：RT -80±2℃ 

2 槽材質(zhì)：SUS316L折彎焊接加工而成，槽底傾斜設(shè)計，加熱溢流循環(huán)超聲結(jié)構(gòu)；

2 加熱方式：通過式加熱；加熱器不放置于槽底，采用專用器件懸掛于外壁兩側(cè)，間接加熱藥液。槽底無加熱器，若采用槽底加熱器將會對超聲效果有影響；

2 循環(huán)：溢流出的溶液通過泵從底部注入工作槽（循環(huán)管路中設(shè)置有過濾裝置，過濾精度0.5um），使得藥液溫度更加均衡，保持工藝的穩(wěn)定性。循環(huán)泵采用進(jìn)不銹鋼泵；

2 上液方式：自動供液；設(shè)備后部設(shè)有自動供液裝置一個泵對應(yīng)兩個桶；共兩種洗劑；其中1#和2#洗劑相同；

2 槽體內(nèi)設(shè)置氮?dú)庖何粋鞲衅?，分別為低、中、高液位；低于低液位報警防止無液干燒；中與高液位之間為工作液位，低于中液位自動補(bǔ)液，高于高液位黃燈亮警示操作人員；高于高液位聲光報警，漏液警報；

2 超聲方式：進(jìn)口超聲系統(tǒng)，功率可調(diào)；

2 計時功能：按下“開始”按鈕，倒敘計時，可在觸摸屏上直觀顯示工藝時間。設(shè)定精度1s。

2 排液方式：自動重力排放，排液口增加過濾裝置

2 槽蓋：配置有不銹鋼自動槽蓋

QDR槽

2 清洗液：DIW

2 槽體尺寸：設(shè)計確認(rèn) 

2 槽體材質(zhì)：德國進(jìn)口10mmNPP板焊接而成

2 藥液溫度：RT

2 供水方式：自動,流量壓力可調(diào)

2 排放方式：快排，直排至廠務(wù)。

2 注水時間＜30S，排放時間≤5S

2 槽體形狀 : 方形V 型四邊溢流，噴嘴約往槽體45°傾斜，充分清洗硅片；槽體下方配有緩沖槽，廢水先排至緩沖槽后在進(jìn)行排放

2 工藝流程：放入工件→開始噴淋,同時快排閥打開→底部注水，同時快排閥關(guān)閉，氮?dú)夤呐荽蜷_→溢流漂洗＋氮?dú)夤呐荨炫砰y打開，快速排放，一次沖洗快排工藝結(jié)束

2 工藝時間：1～9999秒可設(shè)定。循環(huán)沖洗次數(shù)、時間等可在觸摸屏上進(jìn)行設(shè)定并聲光報警提示

2 上水流量、壓力可調(diào)

2 排放口設(shè)有濾網(wǎng)防止物件堵塞管路；排放管路設(shè)置廢水回收管路；

               2 槽體底部設(shè)有勻流板