化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備>四探針測(cè)試儀>WTS-0421 晶圓電阻測(cè)量?jī)x
WTS-0421 晶圓電阻測(cè)量?jī)x
- 公司名稱 湖南瓦特頌半導(dǎo)體有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號(hào)WTS-0421
- 所在地株洲市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2024/5/15 17:03:33
- 訪問(wèn)次數(shù) 128
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-50萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子 |
|---|---|---|---|
| 自動(dòng)化度 | 半自動(dòng) |
設(shè)備基本參數(shù)
1．方阻測(cè)量范圍：1x10E-6ohm/sq~5x10E6ohm/sq
2．四探針探頭測(cè)量金屬類型：鋁 / 鈦 / 鎳釩 / 金 / 銅 等金屬
3．四探針探頭測(cè)量金屬厚度：100A～10μm
4．四探針系統(tǒng)電流量程：1μA , 10μA , 100μA , 1mA , 10mA , 50mA , 500mA 七檔
5．四探針標(biāo)準(zhǔn)晶圓方阻重復(fù)性：1，≤±0.1%（同點(diǎn)靜態(tài)測(cè)量）2，≤±0.2% （動(dòng)態(tài)多點(diǎn)測(cè)量）
6．四探針標(biāo)準(zhǔn)晶圓測(cè)量精度：≤±1%（典型晶圓）
7．量測(cè)區(qū)域：以探針頭的中心到晶圓的邊緣距離3mm
8．測(cè)試圖形：1，極地圖形（在對(duì)位晶圓的notch) 2，矩形圖形（無(wú)效邊緣排除以外進(jìn)行選擇） 3，直線掃描（可以是直徑，半徑或沿直徑的點(diǎn)到點(diǎn)，最小距離0.1mm) 4，用戶自定義（使用模板）
9．測(cè)量圖形表示：可以為輪廓圖，3D圖，water上顯示的數(shù)據(jù)圖數(shù)據(jù)表示
10．探針自清潔功能：陶瓷片清潔
11．所有設(shè)備測(cè)量的數(shù)據(jù)文件可以被導(dǎo)入到Excel，Word文檔，工作站等，數(shù)據(jù)圖形可以合并
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)