小型超薄光學(xué)隔振平臺

大多數(shù)光學(xué)實(shí)驗(yàn)或工業(yè)生產(chǎn)都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動會導(dǎo)致儀器測量結(jié)果的不穩(wěn)定性和不準(zhǔn)確性，嚴(yán)重干擾生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行，振動來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動和系統(tǒng)內(nèi)部的振動，地面固有振動，工作人員踩踏地板以及開、關(guān)門或墻壁碰撞等通過地面?zhèn)鱽淼恼駝泳鶎傧到y(tǒng)之外的振動，這一類振動需通過光學(xué)平臺的隔振支架衰減；而來自系統(tǒng)內(nèi)部的振動包括儀器振動、氣流、冷卻水流等，則需依靠光學(xué)平臺的桌面阻尼來隔絕。

  隨著光學(xué)加工設(shè)備和測量儀器精度的不斷提高， 其對工作環(huán)境的振動隔離提出了更加嚴(yán)苛的要求。例如，離子激光器泵浦噴流染料激光器時，激光器的振動要求達(dá)到了微米級；由于可見光波長約為0.5微米，即使振動在次微米級別時，以光的干涉為基礎(chǔ)的實(shí)驗(yàn)（如全息攝影） 也將無法進(jìn)行； LμmArray 公司的并行激光直寫設(shè)備的直寫頭振動線位移不能超過15nm ;超精密機(jī)械加工的表面粗糙度要求已經(jīng)達(dá)到 0.1nm  ;高精度掃面探針顯微鏡的雙向分辨率都已達(dá)到亞納米級。因此，對光學(xué)加工設(shè)備及光學(xué)測量儀器進(jìn)行有效的隔振是保證科研生產(chǎn)活動正常進(jìn)行的必要條件。

小型超薄光學(xué)隔振平臺

主要特點(diǎn)

◆臺面整體采用三層夾心結(jié)構(gòu)，上臺面為410鐵磁不銹鋼，中心為蜂窩/井字鋼支撐結(jié)構(gòu)，底板為碳鋼，在保證隔振性能得同時，提高了剛性、穩(wěn)定性，臺面精磨

◆平臺支架采用整體焊接式四支撐結(jié)構(gòu)，上方帶有三加一調(diào)整結(jié)構(gòu)，支架下方具有高度調(diào)整功能，調(diào)整范圍±15mm

◆隔振支架可以選裝*腳輪，方便移動

◆蜂巢式的設(shè)計大大的減輕了光學(xué)隔振平臺重量，剛性卻有所增加，保證了較好的限度的機(jī)械穩(wěn)定性，提高了阻尼

◆臺面上的M6安裝孔陣列用于固定各種光學(xué)部件，公制孔距為25毫米，英制孔距為1英寸

技術(shù)參數(shù)

◆水平方式：手動調(diào)平

◆平面度：≤0.5mm/600mm×600mm

◆固有頻率8-10Hz

◆臺面厚度：50/100/200mm

應(yīng)用

◆光學(xué)實(shí)驗(yàn) ◆光靶實(shí)驗(yàn) ◆對振動要求不高得儀器設(shè)備