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HMDS-210F HMDS真空干燥箱 HMDS預(yù)處理系統(tǒng)
- 公司名稱 安徽寧懷儀器有限公司
- 品牌 寧懷儀器
- 型號(hào) HMDS-210F
- 產(chǎn)地 合肥
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2022/6/9 22:38:04
- 訪問(wèn)次數(shù) 491
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合肥真空干燥箱、合肥鼓風(fēng)干燥箱、恒溫培養(yǎng)箱、二氧化碳培養(yǎng)箱、恒溫?fù)u床、合肥冷凍干燥機(jī)、烘箱、低溫恒溫槽、恒溫恒濕培養(yǎng)箱、人工氣候培養(yǎng)箱
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,農(nóng)業(yè) |
|---|---|---|---|
| 消毒方式 | UV紫外消毒 |
技術(shù)參數(shù)：
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要，光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形
轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。HMDS真空干燥箱 HMDS預(yù)處理系統(tǒng)
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)真空干燥箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS真空干燥箱 HMDS預(yù)處理系統(tǒng)
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：
先確定工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后，開(kāi)始充人氨氣，充到達(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氨氣的過(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氫氣次數(shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間，使硅片寧懷儀器充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空。充入氨氣，完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：先加熱到100℃－200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表而生成硅醒，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻（三甲基硅烷基較大）阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。尾氣排放等：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到專用廢氣收集管道。在無(wú)專用廢氣收集管道時(shí)需做專門(mén)處理，
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