化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>退火爐>Centrotherm RAPID 150 Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150
Centrotherm RAPID 150 Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) Centrotherm RAPID 150
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/9/25 16:15:34
- 訪問(wèn)次數(shù) 890
聯(lián)系方式：紹兵18263262536 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
|---|
Centrotherm 快速退火爐-c.RAPID 150
一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
德國(guó)Centrotherm公司是國(guó)際主流的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，尤其在高溫設(shè)備領(lǐng)域。Centrotherm c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火設(shè)備，主要用于滿足研發(fā)和小規(guī)模量產(chǎn)所需的多種工藝要求。
Centrotherm測(cè)溫系統(tǒng)適用于從室溫至高溫的廣泛區(qū)間。Centrotherm優(yōu)化的多區(qū)溫控系統(tǒng)結(jié)合可以獨(dú)立控制的加熱燈，提供了出色的控溫精度和控溫重復(fù)性。
此款設(shè)備配置手動(dòng)裝載系統(tǒng)，適用于研發(fā)以及小型的量產(chǎn)。
成熟的真空操作和氣體管理系統(tǒng)為多種應(yīng)用提供了可控的氣體環(huán)境。出色的性能和高度的靈活性，結(jié)合小的占地面積，低的客戶擁有成本，使c.RAPID 150成為一款最佳的手動(dòng)RTP設(shè)備。
二、典型應(yīng)用
退火：一般退火、接觸層（Contact）退火、源/漏退火、勢(shì)壘金屬退火
硅化
氧化
摻雜活化
三、產(chǎn)品特性
可在常壓或者真空（控壓）下工作
高度靈活性：適用于最大6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盤
升溫速率約150 K/s
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- KEKO CAM-H 低溫共燒陶瓷流延機(jī)LTCC
- SEMSYSCO Galaxy SEMSYSCO晶圓電鍍平臺(tái)：Galaxy儀器設(shè)備
- KEKO CAM-H KEKO（大型）流延機(jī)CAM-H系列
- Centrotherm RTP 150 Centrotherm 快速熱工藝設(shè)備-RTP 150
- Centrotherm Oxidator 150 Centrotherm 高溫氧化系統(tǒng)-Oxidator 150
- Centrotherm Activator150 高溫退火爐系統(tǒng)
- CAMTEK Eagle-i CAMTEK 自動(dòng)光學(xué)檢驗(yàn)AOI設(shè)備 MEMS
- CAMTEK Eagle-i 自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)AOI CMOS傳感器檢查
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)