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          化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設(shè)備>制樣/消解設(shè)備>其它消解設(shè)備>Centrotherm Activator150 高溫退火爐系統(tǒng)

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          Centrotherm Activator150 高溫退火爐系統(tǒng)

          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
          • 品牌 其他品牌
          • 型號 Centrotherm Activator150
          • 產(chǎn)地 德國
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
          • 更新時間 2024/9/25 16:11:06
          • 訪問次數(shù) 1076

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          公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊,專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
          目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。

           

          半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測設(shè)備

          產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 石油,能源,電子

          Centrotherm 高溫退火爐系統(tǒng)-Activator 150

          一、產(chǎn)品簡介

          Centrotherm Activator 150 高溫爐設(shè)計用于SiCGaN器件注入后退火。Centrotherm*工藝爐管和加熱系統(tǒng)設(shè),允許工藝溫度達(dá)到 1850 ℃。

          此外,Activator 150 系列的產(chǎn)品可以實現(xiàn)生長石墨烯生長。通過碳化硅升華生長石墨層可以獲得高性能器件。

          Centrotherm 新一代SiC工藝爐管的研發(fā)用以滿足新興的150 毫米 SiC工藝。

          Centrotherm Activator 150-5 是為研發(fā)工作而特制的,而Centrotherm Activator 150-50專為大批量生產(chǎn)設(shè)計。

          廣泛的工藝范圍實現(xiàn)了對自定義化程序的優(yōu)化, 例如溫度, 氣路系統(tǒng)和壓力。

           

          二、典型應(yīng)用

          SiC器件高溫退火 (注入后)

          GaN器件退火

          大面積石墨烯生長

          SiC表面制備

           

          三、產(chǎn)品特性

          性能和優(yōu)勢

          高活化

          小表面粗糙度

          最大溫度可達(dá) 1850 ℃ 

           



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