CS200D 數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CS200D
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2020/6/20 9:29:19
- 訪問(wèn)次數(shù) 8971
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北京華丞電子有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華丞電子”）是由北京七星華創(chuàng)流量計(jì)有限公司、北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司及北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司射頻業(yè)務(wù)單元整合而成的工業(yè)領(lǐng)域核心零部件及解決方案科技企業(yè)，華丞電子立足于集成電路、新能源等工業(yè)領(lǐng)域的科技前沿，集聚了多項(xiàng)先進(jìn)零部件技術(shù)核心人才，致力于成為一家全面的工業(yè)零部件解決方案供應(yīng)商。
華丞電子傳承了數(shù)十年在流量測(cè)控、射頻技術(shù)和自動(dòng)化設(shè)備等領(lǐng)域的專業(yè)優(yōu)勢(shì)，技術(shù)積和創(chuàng)新能力。產(chǎn)品迭代升級(jí)的同時(shí)，華丞電子依據(jù)客戶新的產(chǎn)品需求不斷探索研究，深挖技術(shù)，創(chuàng)新產(chǎn)品，拓寬產(chǎn)品線，形成了流量測(cè)控、壓力測(cè)控、氣路系統(tǒng)、射頻電源、匹配器、磁流體密封裝置、傳輸系統(tǒng)、自動(dòng)化裝備等系列產(chǎn)品，為半導(dǎo)體、光伏、燃料電池、真空鍍膜等領(lǐng)域提供解決方案。華丞電子布局六大研發(fā)/生產(chǎn)基地，營(yíng)銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國(guó)家和地區(qū)。
在新的征程上，北京華丞電子有限公司將攜手所有合作伙伴，共同開(kāi)創(chuàng)電子科技領(lǐng)域的新篇章，為構(gòu)建智慧社會(huì)貢獻(xiàn)我們的力量。
氣體質(zhì)量流量計(jì)、數(shù)字氣體流量計(jì)、氨氣流量控制器、氧氣流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
CS200質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)
CS200D數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，采用*傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達(dá)到設(shè)定值1%以內(nèi)，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時(shí)，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi)，CS200C產(chǎn)品*快可在800ms以內(nèi)達(dá)到設(shè)定流量，響應(yīng)時(shí)間將使用過(guò)程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差小化，所需流量更加精準(zhǔn)。
優(yōu)勢(shì)
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。
• CS200C產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)10RA以下，CS200D產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達(dá)25RA。
• CS200產(chǎn)品嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造，尺寸符合通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品支持RS485，DeviceNet通訊方式。
• 具有多氣體多量程功能、自動(dòng)歸零功能、報(bào)警功能、軟啟動(dòng)功能、延遲功能及功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端使用軟件。
CS200D數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
CS200 | ||||||
型號(hào) | CS200-A | CS200-C | CS200-D | |||
閥類型 | 常開(kāi)(流量規(guī)格 ≤ 30SLM) | 無(wú) | 常開(kāi)或常閉 | 無(wú) | 常開(kāi)或常閉 | 無(wú) |
流量規(guī)格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||
準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |||||
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | ||||
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa | ＜0.02 MPa |
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||
溫度系數(shù) | 零點(diǎn)： ≤±0.05% F.S./℃； | 零點(diǎn)： ≤±0.02% F.S./℃； | ||||
耐壓強(qiáng)度 | 3MPa | |||||
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | ||||
密封材料 | 氟橡膠 | 金屬密封 | ||||
工作環(huán)境溫度 | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
輸入信號(hào) | 數(shù)字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | 無(wú) | 數(shù)字： RS485 | 無(wú) | 數(shù)字： RS485 | 無(wú) |
輸出信號(hào) | 數(shù)字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | |||||
零漂 | 在沒(méi)有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年 | |||||
電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) | |||||
表面化學(xué)成分 | 常態(tài) | Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃） | 常態(tài) | |||
表面粗糙度 | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽(yáng)接頭；雙卡套φ3； | 雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽(yáng)接頭； | ||||
電源接頭形式 | D 型 9 針陽(yáng)接頭；D 型 15 針陽(yáng)接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 | |||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |
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