CS100 數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌 七星華創(chuàng)
- 型號(hào) CS100
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2020/6/20 10:57:01
- 訪問次數(shù) 3769
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北京華丞電子有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華丞電子”）是由北京七星華創(chuàng)流量計(jì)有限公司、北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司及北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司射頻業(yè)務(wù)單元整合而成的工業(yè)領(lǐng)域核心零部件及解決方案科技企業(yè)，華丞電子立足于集成電路、新能源等工業(yè)領(lǐng)域的科技前沿，集聚了多項(xiàng)先進(jìn)零部件技術(shù)核心人才，致力于成為一家全面的工業(yè)零部件解決方案供應(yīng)商。
華丞電子傳承了數(shù)十年在流量測(cè)控、射頻技術(shù)和自動(dòng)化設(shè)備等領(lǐng)域的專業(yè)優(yōu)勢(shì)，技術(shù)積和創(chuàng)新能力。產(chǎn)品迭代升級(jí)的同時(shí)，華丞電子依據(jù)客戶新的產(chǎn)品需求不斷探索研究，深挖技術(shù)，創(chuàng)新產(chǎn)品，拓寬產(chǎn)品線，形成了流量測(cè)控、壓力測(cè)控、氣路系統(tǒng)、射頻電源、匹配器、磁流體密封裝置、傳輸系統(tǒng)、自動(dòng)化裝備等系列產(chǎn)品，為半導(dǎo)體、光伏、燃料電池、真空鍍膜等領(lǐng)域提供解決方案。華丞電子布局六大研發(fā)/生產(chǎn)基地，營(yíng)銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區(qū)。
在新的征程上，北京華丞電子有限公司將攜手所有合作伙伴，共同開創(chuàng)電子科技領(lǐng)域的新篇章，為構(gòu)建智慧社會(huì)貢獻(xiàn)我們的力量。
氣體質(zhì)量流量計(jì)、數(shù)字氣體流量計(jì)、氨氣流量控制器、氧氣流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
CS100數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器是基于七星流量計(jì)CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺(tái)開發(fā)，在擁有恒功率傳感器技術(shù)，數(shù)字傳感器平衡技術(shù)，VCP線控制技術(shù)的基礎(chǔ)上，采用客戶定制化設(shè)計(jì)，客戶可根據(jù)需要選用符合自身需求的產(chǎn)品，同時(shí)其*創(chuàng)的客戶零點(diǎn)補(bǔ)唯功能(CGC)，能夠解決由于客戶地線連接導(dǎo)致的MFC精度不準(zhǔn)問題，使產(chǎn)品更好的適應(yīng)客戶環(huán)境。
優(yōu)勢(shì)
• CS100產(chǎn)品采用客戶定制化設(shè)計(jì)，
• 客戶可根據(jù)需要選用±15V雙電源或+24單電源供電;
• 金屬密封或橡膠密封;
• 產(chǎn)品尺寸可選用符合通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品，也可選用緊縮型產(chǎn)品。
CS100數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
CS100 | ||||||||||||||
型號(hào) | CS100A | CS100D | ||||||||||||
閥類型 | 常閉 | 無 | 常閉 | 無 | ||||||||||
流量規(guī)格(N2) | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||||||||||
準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | |||||||||||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||||||||||
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |||||||||||||
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1sec | |||||||||||||
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa； 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa； 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa | ||||||||||
溫度系數(shù) | 零點(diǎn): ≤±0.05% F.S/℃； 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S/℃ | |||||||||||||
耐壓 | 3MPa | 10MPa | 3MPa | 10MPa | ||||||||||
漏率 | 1×10-9 Pa·m3 / sec He（1×10-8 atm·cc / sec He） | |||||||||||||
密封材料 | 氟橡膠 | 金屬密封 | ||||||||||||
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||||||||||
工作環(huán)境溫度 | （5～45）℃ | |||||||||||||
輸入信號(hào) | 模擬: | 數(shù)字: RS485 | 無 | 無 | 模擬: | 數(shù)字: RS485 | 無 | 無 | ||||||
輸出信號(hào) | 模擬: | 數(shù)字: RS485 | 模擬: (0～5)VDC | 數(shù)字: RS485 | 模擬: | 數(shù)字: RS485 | 模擬: | 數(shù)字: RS485 | ||||||
電源接頭形式 | D型9針 D型15針 | D型9針 O型3針 | D型15針 | D型9針 D型15針 | D型9針陽接頭； O型3針陽接頭 | D型15針陽接頭 | D型9針 D型15針 | D型9針 O型3針 | D型15針 | D型9針 D型15針 | D型9針陽接頭； O型3針陽接頭 | D型15針陽接頭 | ||
供電電源 | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ||
自動(dòng)清零 | 支持 | |||||||||||||
表面粗糙度 | 25μinch Ra | |||||||||||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套 φ6； 雙卡套φ3；雙卡套1/4´´；雙卡套1/8´´； VCR1/4´´陽接頭； φ6(內(nèi))x1軟管接頭;φ5(內(nèi))x1.5軟管接頭;φ4(內(nèi))x1軟管接頭 | VCR1/4″陽接頭 | ||||||||||||
重量 | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg | ||||||||||
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