VM系列 探針臺系統(tǒng)
- 公司名稱 深圳市展芯科技有限公司
- 品牌
- 型號 VM系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì)
- 更新時間 2016/10/20 17:13:04
- 訪問次數(shù) 438
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產(chǎn)品應(yīng)用：
DC、RF、mmW測試；
納米級電子器件測試、微機電測試；
超導測試。
產(chǎn)品特點：
80k-573k溫度范圍，可擴展至4k-1073k。
載物臺內(nèi)部液氮浸潤式結(jié)構(gòu)，快速降溫，液氮使用量更少，節(jié)約耗材成本。
高真空不銹鋼真空腔體（配套分子泵組可達10-6mbar）。
低溫測試時真空腔體體內(nèi)無凝露、結(jié)霜。
紅外截止玻璃觀察窗，提升測試腔內(nèi)部溫度穩(wěn)定性。
4探針點測系統(tǒng)，zui多可定制8探針點測系統(tǒng)。
配套同軸或三軸電纜可應(yīng)用于高精度的DC測試。
配套微波測試套件可應(yīng)用于DC-67GHz的RF測試或頻率更高的mmW測試。
技術(shù)指標 |
載物臺 |
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尺寸 | 4"（2"、6"、8"方案可選） |
材質(zhì) | 合金銅 |
表面處理 | 可選純金鍍層或沉鎳鍍層 |
平整度 | <50µm@300℃ |
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載物臺移動基座（可選項） |
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X-Y軸行程范圍 | 4"*4"，根據(jù)載物臺尺寸可選更大行程，電動控制系統(tǒng)可選 |
精度 | 1μm |
R軸微調(diào)角度范圍 | ±9° |
R軸微調(diào)精度 | 0.0001°/deg |
Z軸細調(diào)行程范圍 | 13mm |
細調(diào)精度 | 1μm |
Z軸快升行程 | 350μm |
Z軸往復精度 | <1μm |
溫度控制系統(tǒng) |
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溫度范圍 | 80k-573k |
溫度精度 | 0.1℃ |
溫控精度 | 溫控精度0.1℃，連續(xù)變溫無節(jié)點。 |
溫度均勻性 | 0.1℃@4(100mm)載物臺。 |
加熱方式 | 電阻加熱 |
制冷方式 | 液氮制冷 |
杜瓦罐容量 | 80L自增壓液氮杜瓦罐 |
致冷劑消耗量 | 15L液態(tài)氮（室溫降至80k） |
溫度擴展范圍 | 4k-1073k |
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真空系統(tǒng) |
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真空度 | 10-3mbar*（可配套分子泵組，達到更高的真空度10-6mbar） | |
真空泵 | 旋片式雙級油封真空泵，可升級渦輪分子泵組 | |
抽速 | 16m3/h | |
抽真空時間 | 5min（10-3mbar） | |
真空焊接波紋管 | 三維彎曲大于25mm（定制參數(shù)） | |
法蘭 | KF（更高真空度要求則使用CF） | |
真空腔體 |
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腔體材質(zhì) | 不銹鋼 | |
觀察舷窗 | 紅外截止玻璃** | |
真空泵接口法蘭 | KF25 | |
液氮接口法蘭 | KF25 | |
點測系統(tǒng) |
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探針座數(shù)量 | 4個（zui多8個，可根據(jù)需求定制） | |
探針夾具 | 4個（zui多8個，可根據(jù)需求定制） | |
定位精度 | 5μm（可根據(jù)需求定制） | |
X-Y-Z軸移動行程 | 25mm*25mm*25mm（可根據(jù)需求定制） | |
光學系統(tǒng)（體視顯微鏡） |
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光學放大倍數(shù) | 15X-100X | |
變焦倍率 | 0.75X-5X（變倍比6X） | |
CCD | 1/3”數(shù)字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口 | |
顯微鏡旋臂 | 兩段式顯微鏡支架，可快速移動定位顯微鏡 | |
光學系統(tǒng)（單筒顯微鏡） |
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光學放大倍數(shù) | 400X(21英寸顯示器) | |
變焦倍率 | 0.58X-7X（變倍比12X，超大變倍范圍） | |
CCD | 1/3”數(shù)字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口 | |
顯微鏡旋臂 | 兩段式顯微鏡支架，可快速移動定位顯微鏡 | |
顯微鏡移動基座（可選項） |
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X-Y軸行程范圍 | 2"*2"，根據(jù)載物臺尺寸可選更大行程，電動控制系統(tǒng)可選 | |
精度 | 1μm | |
防震臺 |
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隔震方式 | 氣囊式防震臺 | |
固有頻率 | 1.2Hz（水平），1.5Hz（水平） | |
樣品振動 | <300nm（真空泵工作時） |
*低溫測試時真空腔體內(nèi)無凝露或結(jié)霜。
**紅外截止玻璃：過濾紅外光，防止紅外光進入真空腔體內(nèi)使腔體內(nèi)部升溫，提升載物臺溫度穩(wěn)定性。
***77k為液氮溫度，實際操作中，由于載物臺熱傳導損耗的存在，無法達到77k。根據(jù)液氮循環(huán)的時間而定，實際zui低溫度不會低于85k。
特別提示
1. “產(chǎn)品應(yīng)用示例”欄目下的圖示是為方便客戶理解產(chǎn)品應(yīng)用而拍攝的產(chǎn)品應(yīng)用示意圖片，實際銷售的商品配置，請您參考“產(chǎn)品配置說明”或咨詢我司客服人員。
2. 若我司的客服人員無法及時答復您的問題，請麻煩您致電深圳市展芯科技有限公司，：，我們將在zui短的時間內(nèi)響應(yīng)您的需求。
品牌簡介-PRCBE
展芯科技是一家專業(yè)的探針臺系統(tǒng)研發(fā)和生產(chǎn)商，致力于為用戶提供中國（PRC）精準（Precise）、可靠（Reliable）和高性價比（Cost-effective）的探針臺系統(tǒng)。
依托于自有的芯片失效分析實驗室，展芯科技得以根據(jù)zui前端的測試需求不斷地研發(fā)改進，以滿足用戶日新月異的測試需求。同時，芯片失效分析實驗室也為展芯的提供了理論實際的測試平臺，芯片分析實驗室用戶在使用的同時，也給我司產(chǎn)品提供了寶貴的改進建議。
經(jīng)過10年的發(fā)展和積累，展芯已在的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域取得了的成績，可針對用戶不同的測試需求定制解決方案，如微弱電流測試（1fA）、RF 和mmW測試（THz）、高功率測試（100A，10kV）、真空高低溫測試（-196℃~800℃）、光電測試等等。
憑借著PRC的產(chǎn)品，展芯贏得了半導體行業(yè)內(nèi)科研機構(gòu)和公司的信任和尊重，建立了*的合作關(guān)系。展芯的已在國內(nèi)外的科研院所、學校和公司中獲得廣泛的使用，如中科院、廣州五所（賽寶實驗室）、北京自動化設(shè)備研究所、電子科技大學、西安電子科技大學、清華大學、北京大學、復旦大學、香港大學、香港科技大學、香港城市大學、華為、中興、比亞迪、富士康等等。
感謝您對展芯的關(guān)注，相信我們PRC的產(chǎn)品定能讓您在集成電路 (IC)、電路板、光學器件、MEMS、3D TSV、LCD等*半導體器件的精密電氣測量及測試中獲得精準可靠的測試數(shù)據(jù)。
售后服務(wù)
2年質(zhì)量保修期
除探針耗材外，展芯科技銷售的產(chǎn)品質(zhì)量保證期為貨物簽收之日起2年，在此期間若合同標的物出現(xiàn)質(zhì)量問題，均由展芯負責維修或替換，但以下情況除外：1. 自然原因?qū)е碌漠a(chǎn)品質(zhì)量衰退、精度下降；2. 人為或不可抗拒的自然現(xiàn)象而發(fā)生的損壞；3. 用戶擅自進行的拆解、改裝、功能附加或減除導致的損壞；4. 用戶自行或經(jīng)第三方維修導致的損壞。
免費終身維護
除探針耗材外，展芯科技銷售的產(chǎn)品均可享受免費終身維護服務(wù)。
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