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          產(chǎn)品展廳

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          PLD-01/PLD-02 美國(guó)SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱 北京中精儀科技有限公司
          • 品牌 其他品牌
          • 型號(hào) PLD-01/PLD-02
          • 產(chǎn)地
          • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
          • 更新時(shí)間 2024/9/23 9:08:59
          • 訪問(wèn)次數(shù) 3317
          產(chǎn)品標(biāo)簽

          PLDSVT 脈沖激光沉積設(shè)備

          聯(lián)系方式:葛先生查看聯(lián)系方式

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          北京中精儀科技有限公司是一家致力于提供先進(jìn)的科研生產(chǎn)測(cè)試儀器及相關(guān)技術(shù)咨詢服務(wù)的科技企業(yè), 公司由來(lái)自美國(guó)的相關(guān)領(lǐng)域資深專家成立, 公司總部設(shè)在美國(guó)加州硅谷地區(qū)。

          公司多年來(lái)秉承著“精益求精”的經(jīng)營(yíng)理念,為中國(guó)高等院校、科研機(jī)構(gòu)、生產(chǎn)企業(yè)配備了大量先進(jìn)的專業(yè)儀器。提供了高水平、專業(yè)化的技術(shù)產(chǎn)品及高質(zhì)量的售后服務(wù)。

          公司銷售的產(chǎn)品涉及到:

          (1)材料力學(xué)試驗(yàn)機(jī):摩擦磨損試驗(yàn)機(jī),耐磨試驗(yàn)機(jī),真空試驗(yàn)機(jī),電化學(xué)腐蝕試驗(yàn)機(jī),疲勞試驗(yàn)機(jī),彎曲扭轉(zhuǎn)試驗(yàn)機(jī),微納劃痕儀、壓痕儀,高溫微米壓痕儀等。

           

          (2)材料表面分析 :三維形貌儀,白光干涉儀,激光共聚焦顯微鏡,原子力顯微鏡等。

          (3)半導(dǎo)體設(shè)備/CMP :原子層沉積系統(tǒng)(ALD),MBE分子束外延系統(tǒng),激光脈沖沉積(PLD),物理氣相沉積系統(tǒng)(PVD),化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備(CMP)等。

          (4)生化儀器:激光拉曼光譜儀等

          (5)扭矩測(cè)試:多功能扭矩測(cè)試儀,電機(jī)扭矩測(cè)試儀,軸承扭矩測(cè)試儀等。

          多功能摩擦磨損試驗(yàn)機(jī),形貌儀,輪廓儀,摩擦儀,

          產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子,冶金,航天,汽車

          美國(guó)SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD應(yīng)用

          ● 多元素復(fù)合氧化物

          ● 高溫超導(dǎo)材料

          ● 磁性材料、金屬材料

          ● 低蒸汽壓材料

          ● MEMS


          基本系統(tǒng)

          腔室及真空泵

          12’’ 快速門,250l/s 分子泵,全量程規(guī)


          沉積源

          靶臺(tái),6X1’’(25mm) 靶,可以水平旋轉(zhuǎn),可Z方向移動(dòng)


          樣品臺(tái)

          1’’(25mm)大小,可加熱至800oC(1000oC可選),可水平旋轉(zhuǎn),可Z方向移動(dòng)


          在線工藝監(jiān)控

          石英晶振沉積速率監(jiān)控儀


          自動(dòng)化

          自動(dòng)化裝置:

          控制樣品溫度和旋轉(zhuǎn)

          靶臺(tái)的位置控制

          靶臺(tái)旋轉(zhuǎn)

          氣體控制

          速率及厚度計(jì)算(利用QCM輸出)

          激光束掃描(可選)

          激光束屏蔽控制

          自動(dòng)泵抽和充氣

          差分泵抽結(jié)構(gòu)

          RHEED分析(可選)

          裝載室壓強(qiáng)監(jiān)控(可選)


          美國(guó)SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD主要特點(diǎn)
          RF射頻等離子源(氧,氮)
          升級(jí)高真空
          增加進(jìn)樣室
          升級(jí)為L(zhǎng)aser-MBE (L-MBE)系統(tǒng)
          自動(dòng)軟件控制

          提供更潔凈的薄膜生長(zhǎng)環(huán)境,控制解決方案








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