Zeta-20 多模組三維光學(xué)輪廓儀
- 公司名稱 深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) Zeta-20
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/7 14:41:47
- 訪問(wèn)次數(shù) 304
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臺(tái)階儀，光學(xué)輪廓儀，電化學(xué)工作站，納米壓痕儀，力電聯(lián)測(cè)材料試驗(yàn)機(jī)，介電溫譜測(cè)量系統(tǒng)，電阻測(cè)試儀，原子力顯微鏡，光學(xué)顯微鏡
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 50萬(wàn)-100萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
| ZSI模式分辨率： | 0.5? | 最小臺(tái)階： | 0.1nm |
多模組三維光學(xué)輪廓儀Zeta-20標(biāo)配ZDot技術(shù)，可選裝多模式光學(xué)系統(tǒng)。強(qiáng)大的成像測(cè)量功能，使其能夠?qū)Ω鞣N樣品進(jìn)行測(cè)量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理等。
納米及微米級(jí)臺(tái)階測(cè)量
粗糙度分析
薄膜厚度測(cè)量
三維輪廓測(cè)量
全表面缺陷測(cè)量及分類
特征圖形全自動(dòng)偵測(cè)與表征
高深寬比表面輪廓成像
True color（真彩）無(wú)限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像
多模組三維光學(xué)輪廓儀模式選擇
| 適用范圍 | ZDOT | ZI | ZIC | ZSI | ZFT |
| 粗糙度＞40nm | √ | ||||
| 粗糙度＜40nm | √ | ||||
| 大視場(chǎng)、Z軸高分辨 | √ | ||||
| 15nm～25mm臺(tái)階 | √ | ||||
| 5nm～100μm臺(tái)階 | √ | ||||
| ＜10nm臺(tái)階 | √ | ||||
| 30nm＜膜厚＜75μm | √ | ||||
| 膜厚＞75μm | √ |
基礎(chǔ)模塊
| 橫向準(zhǔn)確度＜1% | 彩色CCD：2/3”，2448×2048 |
| 水平分辨率：54nm | 可測(cè)高度：40mm |
| Z軸分辨率：13nm/2nm | 光源：高亮度LED |
| 自動(dòng)XY載臺(tái)150×150mm | 樣品反射率：0.5%~100 |
測(cè)試系統(tǒng)選項(xiàng)
標(biāo)準(zhǔn)物鏡：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150×
特殊物鏡：長(zhǎng)工作距離，浸沒(méi)物鏡，TTM物鏡
ZI、ZIC、ZFT、ZSI（0.5Å分辨率，0.1nm臺(tái)階高度測(cè)試）
載臺(tái)與卡盤選項(xiàng)
手動(dòng)100mm×100mm或300mm×300mm載臺(tái)
自動(dòng)150mm×150mm或180mmx200mm載臺(tái)
壓電陶瓷載臺(tái)（2nm閉環(huán)精度，200µm工作距離）
高精度傾斜載臺(tái)
手動(dòng)旋轉(zhuǎn)載臺(tái)
卡盤：2"-6"、65mm-95mm、背光卡盤等，可定制
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