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出品的SEMI-KLEEN 等離子清洗儀, 可清洗各種類型電子或者離子顯微鏡,深紫外光刻機(jī),電子光刻系統(tǒng)等真空儀器。一個(gè)儀器同時(shí)清洗真空腔體和樣品。
PIECAL 820PM/830PM校準(zhǔn)器
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