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          日本電子軟X射線發(fā)射光譜SXES

          來源:東莞市協(xié)美電子有限公司   2015年06月25日 09:24  

          軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)

          軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度X射線CCD相機(jī),實(shí)現(xiàn)了*的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測,并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的*能量分辨率進(jìn)行分析,超過了WDS的能量分辨率。

          0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的*能量分辨率

          開發(fā)設(shè)計(jì)的分光系統(tǒng),不需移動(dòng)衍射光柵或檢測器(CCD)就能同時(shí)獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高,還可以采集狀態(tài)分析分佈圖
          察。

          軟X射線發(fā)射光譜儀SXES
          軟X射線發(fā)射光譜儀SXES

          SXES具有很高的能量分辨率

          各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖,即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發(fā)生重疊,需要采取去卷積的數(shù)學(xué)方法處理。如下圖所示,SXES具有很高的能量分辨率。

          鋰離子二次電池(LIB)分析實(shí)例

          能觀察到LIB的充電量

          軟X射線發(fā)射光譜儀SXES
          軟X射線發(fā)射光譜儀SXES

          充滿電后Li-K樣品的譜圖

          說明: 由于理論上的原因,氧化鋰的檢測很困難

          輕元素的測試實(shí)例

          SXES測試碳素化合物的實(shí)例

          可以測試金剛石、石墨、聚合物的不同。

          軟X射線發(fā)射光譜儀SXES

          各種氮素化合物的測試實(shí)例

          氮素也可以根據(jù)波形分析化學(xué)結(jié)合狀態(tài)。 硝酸鹽和氮化物的波形*不同,還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的*波形。

           

          軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer) 產(chǎn)品規(guī)格

          能量分辨率0.3eV(Al-L 光譜圖73eV處測試)
          獲取能量范圍:衍射光柵JS50XL的能區(qū)50-170eV
          獲取能量范圍:衍射光柵JS50XL的能區(qū)70-210eV
          分光譜儀艙安裝位置:
          EPMA的WDS接口:NO.2接口(正面右側(cè))
          FE-SEM的WDS接口(正面左后側(cè))
          分光譜儀尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
          * 從接口包括CCD的距離
          分光譜儀重量 25kg

          適用機(jī)型

          EPMA : JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
          SEM : JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

           

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