橢偏儀是一種非常靈敏的光學(xué)技術(shù)，為薄膜計(jì)量提供能力。橢偏儀利用光的相位信息和偏振態(tài)，因此可以達(dá)到埃級(jí)分辨率。橢偏儀的

主要優(yōu)點(diǎn)是非破壞性、靈敏度高和測(cè)量范圍寬。通過(guò)這種技術(shù)可以精確測(cè)量薄膜的厚度和折射率等光學(xué)參數(shù)。

在型號(hào)為 HO-VALE-01 的橢偏儀中，一束圓偏振光入射到測(cè)試基底上，然后對(duì)線性偏振的反射光進(jìn)行偏振變化分析。

該儀器由兩個(gè)同心旋轉(zhuǎn)臂組成，圍繞著一個(gè)固定在重型底座上的精確刻度圓盤。一個(gè)臂上裝有激光源，另一個(gè)臂上裝有探測(cè)器組件?？潭缺P的刻度

為 1°，分辨率為 0.1°。激光源和探測(cè)器的電源分開(kāi)放置。偏振鏡、分析儀和四分之一波板固定在光路中的精密旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，刻度范圍為 0 - 360°

，分辨率為 0.1°。偏振鏡和分析儀均使用格蘭-湯普森棱鏡。

樣品放置在精密測(cè)微計(jì)驅(qū)動(dòng)的垂直平臺(tái)上，高度調(diào)節(jié)范圍為 10 毫米，分辨率為 0.01 毫米。激光源的入射角可在 30° 和 90° 之間調(diào)節(jié)。對(duì)于空點(diǎn)

法，如果需要，可以用微型屏幕代替探測(cè)器，以便目測(cè)空點(diǎn)。

如圖所示，隨機(jī)偏振激光（532nm）通過(guò)偏振器，偏振器將偏振光從隨機(jī)偏振變?yōu)榫€性偏振。然后，線性偏振光通過(guò)四分之一波板（將快速軸設(shè)

置為 45 度），使偏振狀態(tài)從線性偏振變?yōu)閳A形偏振。經(jīng)過(guò)樣品薄膜的反射，圓偏振光變?yōu)榫€性偏振光，分析儀測(cè)量偏振程度

測(cè)量范圍

測(cè)量范圍：1 納米 ~ 300 納米

入射角度：30° ~ 90°，

旋轉(zhuǎn)范圍

偏振器：0° ~ 360

四分之一波：0° ~ 360

分辨率：0.1 度

激光器：DPSS（532nm，5mW）

激光臂

旋轉(zhuǎn)范圍：70 度（從水平面開(kāi)始）

主刻度分度：1 度

分辨率：0.1 度

探測(cè)器

類型：硅光電二極管   硅光電二極管

有效面積：5.8 x 5.8 毫米

探測(cè)器臂

旋轉(zhuǎn)范圍：70 度（從水平面算起）

主刻度分度：1 度

分辨率：0.1 度

樣品架

高度調(diào)節(jié)范圍：10 毫米

驅(qū)動(dòng)分辨率：10 微米

傾斜范圍：+/- 2 度