藍(lán)景 塵埃粒子計(jì)數(shù)器:潔凈室的 “守護(hù)神”
潔凈室的等級劃分主要依據(jù)塵埃粒子的數(shù)量和粒徑大小。從 ISO 1 級到 ISO 9 級,對塵埃粒子的控制要求越來越寬松,但即使是相對寬松的 ISO 9 級潔凈室,也對塵埃粒子有著明確的限制。塵埃粒子計(jì)數(shù)器是確定潔凈室等級和監(jiān)控其運(yùn)行狀態(tài)的關(guān)鍵儀器。它可以準(zhǔn)確測量潔凈室內(nèi)每立方米空氣中不同粒徑的塵埃粒子數(shù)量,從亞微米級到數(shù)微米級的粒子都能精確檢測。例如,在 ISO 1 級潔凈室中,每立方米空氣中大于等于 0.1 微米的塵埃粒子數(shù)不得超過 10 個,這種超高精度的要求只有通過塵埃粒子計(jì)數(shù)器才能實(shí)現(xiàn)監(jiān)測。
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