眾所*,光學(xué)應(yīng)用是一個(gè)具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用:樣品非常光滑、平坦,有時(shí)是透明的。只有*端輪廓儀才能對(duì)其進(jìn)行成像,并滿足該領(lǐng)域的嚴(yán)格要求。我們對(duì)透鏡和濾光片的經(jīng)驗(yàn)在于器件粗糙度、微透鏡陣列和薄膜厚度的測量。
微透鏡陣列
球面透鏡
球面透鏡具有更簡單的設(shè)計(jì)和更低的制造成本,應(yīng)用范圍廣泛。
可以分析尺寸和Sa、Sq和Sz粗糙度參數(shù)。
非球面透鏡
以其較小的像差而著稱,非球面透鏡適用于光學(xué)設(shè)計(jì),有極少的元件會(huì)尋求更好的性能。
可以分析曲率半徑,尺寸和10個(gè)非球面變形系數(shù)以及Sa、Sq和Sz粗糙度參數(shù)。
相機(jī)鏡頭
可以在我們的軟件SensoVIEW中執(zhí)行量測區(qū)域的體積計(jì)算。
SensoVIEW分析軟件對(duì)不同尺寸的孔具有非常高的靈敏度(該樣品的d=2mm)。
多邊形透鏡
六邊形微透鏡是透鏡微陣列中使用的典型幾何結(jié)構(gòu),它們因其高密度而引人注目。
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