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深入探討Moxtek紫外線(xiàn)柵偏振片的多種應(yīng)用場(chǎng)景
Moxtek專(zhuān)為240nm到400nm紫外波段應(yīng)用設(shè)計(jì)紫外偏振片,采用特*的納米線(xiàn)柵技術(shù),性能優(yōu)異,具有大入射角,寬波長(zhǎng)范圍,耐熱性高,高透過(guò)率,高消光比等特點(diǎn)。
產(chǎn)品型號(hào)和規(guī)格
技術(shù)數(shù)據(jù):透過(guò)率以及消光比
紫外偏振片主要應(yīng)用
1.半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用:
DUV步進(jìn)器和DUV掃描儀是半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的核心和關(guān)鍵單元。使用波長(zhǎng)為248 nm和193 nm的單色紫外線(xiàn)輻射,將結(jié)構(gòu)從光掩模板轉(zhuǎn)移到襯底上。在光刻材料的曝光中增加偏振光可將分辨率提高20%。
紫外偏振片也廣泛用在無(wú)圖形晶圓光學(xué)檢測(cè)設(shè)備上,實(shí)現(xiàn)高精度的缺陷檢測(cè)。
2.紫外線(xiàn)固化
偏振紫外線(xiàn)用于固化高*印刷行業(yè)中使用的紫外線(xiàn)敏感油墨,使用偏振光可以實(shí)現(xiàn)更快的生產(chǎn)速度和更大的產(chǎn)能,從而提高機(jī)器和工廠(chǎng)的利用率。
3.光對(duì)準(zhǔn)Photo Alignment
使用240至300nm范圍內(nèi)的線(xiàn)性偏振紫外線(xiàn),可以實(shí)現(xiàn)LC顯示器行業(yè)的精確對(duì)準(zhǔn),以生成各向異性對(duì)準(zhǔn)膜。傳統(tǒng)的摩擦聚酰亞胺會(huì)產(chǎn)生灰塵、靜電和機(jī)械損傷。在不用大面積變動(dòng)的情況下,UV偏振光允許極快生成均勻和穩(wěn)定的偏置傾斜角。
4.光譜儀
Moxtek UVD260和UVD240偏振片可用于光譜儀,與Glan-Taylor棱鏡相比,其小尺寸、寬接受角、均勻性和寬波長(zhǎng)帶寬特點(diǎn)具備明顯的優(yōu)勢(shì),另外相比傳統(tǒng)的Glan-Taylor棱鏡,UVD系列偏振片還具有更高的對(duì)比度和透過(guò)率,同時(shí)支持更大的AOI,需要更少的空間,沒(méi)有光學(xué)像差,厚度僅為2mm左右。
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