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目前，我國集成電路用半導體光刻膠尤其是高端產品仍高度依賴進口。高端半導體光刻膠對于實現(xiàn)中國半導體產業(yè)鏈的安全自主可控至關重要。高端光刻膠的國產替代已成為整個行業(yè)的迫切需求和重點支持的核心項目。但半導體光刻膠的研發(fā)和生產存在著技術門檻高、保密性強的特點，并涉及復雜的化學合成和純化、配方調配和質量控制等多個生產環(huán)節(jié)。其中，從半導體光刻膠的組分原料到成品的表征及雜質分析均對高端光刻膠的研發(fā)有著重要的指導意義，因此，加強對半導體光刻膠組分原料的研究，對光刻膠的國產化至關重要。
半導體光刻膠研發(fā)進程的重要指標
組分原料的研究、合成與驗證
不同的應用場景，需要不同種類的光刻膠，進而涉及到更多類型和規(guī)格的原料。因此準確的分析方法對于確保光刻膠的質量達到半導體的要求至關重要，同時還可以為合成工藝提供準確的數(shù)據(jù)保證，并有效地指導生產工藝的進步。
成品產量的驗證
目前國產半導體光刻膠面臨的技術瓶頸之一是批次穩(wěn)定性的問題。不同批次間產品的物理化學性能差異會導致成品質量不穩(wěn)定，因此在光刻膠成品階段分析測試結果的準確性和穩(wěn)定性極為重要。
半導體光刻膠解決方案總結
國內廠商正在積極布局光刻膠及其上游材料供應鏈，力求打破“卡脖子”的技術瓶頸。一些公司在中低端制程如 g 線、i 線光刻膠方面已經(jīng)取得了一定的國產化成果。安捷倫半導體光刻膠分析解決方案是基于半導體光刻膠全產業(yè)鏈，從原料到光刻膠成品的質量管控體系。該解決方案全面覆蓋了半導體光刻膠全產業(yè)鏈。通過先進的分析技術和精密的儀器設備，實現(xiàn)對原料和光刻膠成品的關鍵參數(shù)進行全面而精確的評估與監(jiān)控；可以幫助光刻膠生產廠商提升生產效率，降低不良率。安捷倫通過深厚的行業(yè)經(jīng)驗和不斷創(chuàng)新的技術能力，為半導體用光刻膠的質量控制樹立了新的標桿。
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