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          小王子介紹有關(guān) ALD 設(shè)備的其他信息

          來源:深圳市京都玉崎電子有限公司   2024年08月30日 19:28  

          小王子介紹有關(guān) ALD 設(shè)備的其他信息

          1. ALD、CVD、PVD技術(shù)的區(qū)別

          CVD是一種薄膜沉積技術(shù),以“化學(xué)氣相沉積”的縮寫命名,PVD是“物理氣相沉積”的縮寫。

          由于 ALD 使用氣體,因此也稱為 CVD 的一種。然而,與 CVD 不同,CVD 中氣體分解產(chǎn)生的 SiO2 和 SiNx 等化合物會像灰塵一樣堆積,而 ALD 的不同之處在于它可以一次形成一層薄膜。

          PVD是一種利用物理方法而不是氣體形成薄膜的技術(shù)。 PVD是在真空中對成膜材料進(jìn)行加熱、濺射、離子束照射或激光照射,使成膜材料蒸發(fā)、分散成顆粒,然后附著沉積在目標(biāo)物體上的方法。

          當(dāng)使用 ALD 沉積薄膜時,可以在比使用 CVD 和 PVD 沉積薄膜時更窄、更深的結(jié)構(gòu)上沉積薄膜。特別是,ALD技術(shù)在尺寸為100納米或更小的孔隙上沉積薄膜時表現(xiàn)出優(yōu)異的涂覆能力。由于ALD氣體可以深入滲透形成薄膜,因此即使在具有許多小孔的物體上也具有涂覆能力的技術(shù)。

          2. ALD設(shè)備的全球市場

          預(yù)計到 2028 年,全球 ALD 市場將達(dá)到 65 億美元。在目前的薄膜成型市場中,CVD占據(jù)了大部分。其中,ALD技術(shù)不僅在半導(dǎo)體器件的制造過程中發(fā)揮著非常重要的作用,而且還具有較高的沉積性能和生產(chǎn)速度。因此,ALD技術(shù)被認(rèn)為是一個將持續(xù)增長并不斷發(fā)展其自身重要性的市場。


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