用于顯微觀察的照明裝置,用于檢測 最終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等,是半導(dǎo)體加工過程中勞動強(qiáng)度的一種。晶圓和液晶板1.可照明樣品表面范圍在400.000Lx以上。
2. 因使用鹵素光源燈的光源,具有色溫度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。
3. 冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3
4. 二段切換構(gòu)造,可用按扭切換高照明観察及低照明観察。
YP-150I...照度范圍ph30
YP-250I...照度范圍ph60
?。╕P-250I的通風(fēng)機(jī)可選択螺旋式風(fēng)扇或管道通風(fēng)機(jī)形)
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