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一、1、樣品襯底在蒸鍍前可以通過(guò)離子槍進(jìn)行清潔。2、樣品臺(tái)的三維轉(zhuǎn)動(dòng)(平面內(nèi)和垂直于平面)。3、可以注入氣體(特別是氧氣)，并且可控制其壓強(qiáng)。4、蒸鍍厚度控制：頻率：10-4Hz；沉積速度分辨率：0.001nm/s；沉積厚度分辨率：0.01nm/s；沉積厚度可重復(fù)性：±1sxrate。
二、1、真空度<2x10-7Torr(可達(dá)到3.0×10-8Torr)。2、電壓源型號(hào)ST6；電壓2-10kV可調(diào)，電子束流0-0.6A。3、樣品臺(tái)可以適用于6英寸晶片。4、電子槍離子電壓:100-1000eV。
三、直徑4英寸基片，片內(nèi)均勻性優(yōu)于±3%，片間均勻性優(yōu)于±2%，重復(fù)性優(yōu)于±2%。
四、真空蒸發(fā)鍍膜是一種由物理方法產(chǎn)生薄膜材料的技術(shù)。該設(shè)備被廣泛應(yīng)用于在基底上制備均勻材料薄膜，從而對(duì)基底表面進(jìn)行改性。系統(tǒng)的極限壓強(qiáng)可達(dá)≤2x10-7Torr;三組熱阻蒸發(fā)源;?可儲(chǔ)存100個(gè)工藝，1000層，50種薄膜;最大轉(zhuǎn)速可達(dá)20轉(zhuǎn)/分鐘;最高加熱溫度不低于350℃。
五、蒸發(fā)鍍膜儀將蒸發(fā)材料放在坩堝內(nèi)，坩堝放置在高真空腔體中，通過(guò)高壓燈絲發(fā)射電子，電子通過(guò)磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn)轟擊到坩堝內(nèi)的蒸鍍材料表面，對(duì)蒸鍍材料進(jìn)行加熱，電子束蒸發(fā)源的能量可高度集中，使鍍膜材料局部達(dá)到高溫而蒸發(fā)，實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜。根據(jù)不同材料的性質(zhì)分為固態(tài)升華和液態(tài)蒸發(fā)，整個(gè)蒸發(fā)過(guò)程是物理過(guò)程，實(shí)現(xiàn)物質(zhì)從源到薄膜的轉(zhuǎn)移。裝有蒸發(fā)材料的坩堝周圍有冷卻系統(tǒng)，避免坩堝內(nèi)壁與蒸發(fā)材料發(fā)生反應(yīng)影響薄膜質(zhì)量。
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