近期普洛帝測控液體顆粒計數(shù)器部門接到電話，都是咨詢管控電子級硫酸的儀器。

什么是電子級硫酸？

電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑。

電子級硫酸有哪些應(yīng)用？

電子級硫酸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程，主要用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒，無機(jī)殘留物和碳沉積物。

為什么要對電子級硫酸進(jìn)行顆粒管控？

電子級硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。電子級硫酸是芯片制造工藝中用量的電子化學(xué)品，主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機(jī)物雜質(zhì)，質(zhì)量要求高，產(chǎn)品中金屬離子須達(dá)到ppt級（ppt=1ng/Kg=10-12）。

目前，我國電子級硫酸產(chǎn)品依賴德國BASF等外企進(jìn)口，嚴(yán)重制約我國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展，是主要“卡脖子”產(chǎn)品之一。

近兩年，我國電子級硫酸制備技術(shù)取得突破，產(chǎn)品質(zhì)量顯著提高，電子級硫酸產(chǎn)品中金屬離子濃度均小于10ppt，超越了國際SEMI-C12（金屬離子<100ppt）級別，與國際電子化學(xué)品供應(yīng)量好的巴斯夫電子級硫酸品質(zhì)處同一級（金屬離子<10ppt）。

基于上述原因，我國新的電子級硫酸標(biāo)準(zhǔn)將于2023年5月1日正式施行，也將顆粒管控提到了標(biāo)準(zhǔn)管控層面。

電子級硫酸管控有哪些難點？

有2個，一個是硫酸的腐蝕性，一個是硫酸的濃度。98%濃度的電子級硫酸的腐蝕性很強(qiáng)，這個就要求顆粒管控的儀器的耐強(qiáng)腐蝕很強(qiáng)。高濃度的硫酸檢測，接液材質(zhì)達(dá)不到這個檢測濃度就無法需要稀釋檢測，稀釋又會存在手動稀釋和自動稀釋的問題，都是給電子級硫酸檢測無形中增加了麻煩。

如何解決？

針對這2個問題，普洛帝研發(fā)團(tuán)隊經(jīng)過反復(fù)試驗，攻破了這2個難點，將電子級硫酸的檢測濃度提升到98%。在高濃度強(qiáng)酸性的情況下，依然可以實現(xiàn)顆粒管控的準(zhǔn)確性。這款儀器就是普洛帝自主研發(fā)的品牌型號PMT-2，選用0.1-1.0um檢測范圍的強(qiáng)腐蝕性傳感器，實現(xiàn)了電子級硫酸的顆粒管控目的。目前，已經(jīng)在江蘇、廣東等地的電子級硫酸生產(chǎn)企業(yè)得到了應(yīng)用。