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          原子力顯微鏡的分類及優(yōu)缺點

          來源:上海爾迪儀器科技有限公司   2023年04月14日 16:27  
          原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM),一種可用來研究包括導體、半導體和絕緣體在內的固體材料表面結構的分析儀器。它的橫向分辨率可達0.15m,而縱向分辨率可達0.05m,AFM最大的特點是可以測量表面原子之間的力,AFM可測量的最小力的量級為10-14 -10-16 N。AFM還可以測量表面的彈性,塑性、硬度、黏著力等性質 ,AFM還可以在真空,大氣或溶液下工作,也具有儀器結構簡單的特點,在材料研究中獲得了廣泛的研究。
           
          它與其他顯微鏡相比有明顯不同,它用一個微小的探針來”摸索”微觀世界,AFM超越了光和電子波長對顯微鏡分辨率的限制,在立體三維上觀察物質的形貌,并能獲得探與樣品相互作用的信息,典型AFM的側向分辨率(x,y)可達到2nm,垂直分辯牢(方間)小于0。1mmAFM具有操作客易、樣品準備簡單、操作環(huán)境不受限制、分辨率高等優(yōu)點。
           
          原子力顯微鏡的分類
          AFM探針基本都是由MEMS技術加工 Si 或者 Si3N4來制備。探針針尖半徑一般為10到幾十nm。微懸臂通常由一個一般100~500μm長和大約500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。典型的硅微懸臂大約100μm長、10μm寬、數(shù)微米厚。
           
          利用探針與樣品之間各種不同的相互作用的力而開發(fā)了各種不同應用領域的顯微鏡,如AFM(范德法力),靜電力顯微鏡EFM(靜電力)磁力顯微鏡MFM(靜磁力)側向力顯微鏡LFM(探針側向偏轉力)等, 因此有對應不同種類顯微鏡的相應探針。
           
          原子力顯微鏡的探針主要有以下幾種:
           
          1.非接觸/輕敲模式針尖以及接觸模式探針:常用的產品,分辨率高,使用壽命一般。使用過程中探針不斷磨損,分辨率很容易下降。主要應用與表面形貌觀察。
           
          2.導電探針:通過對普通探針鍍10-50納米厚的Pt(以及別的提高鍍層結合力的金屬,如Cr,Ti,Pt和Ir等)得到。導電探針應用于EFM,KFM,SCM等。導電探針分辨率比tapping和contact模式的探針差,使用時導電鍍層容易脫落,導電性難以長期保持。導電針尖的新產品有碳納米管針尖,金剛石鍍層針尖,全金剛石針尖,全金屬絲針尖,這些新技術克服了普通導電針尖的短壽命和分辨率不高的缺點。
           
          3.磁性探針:應用于MFM,通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備,分辨率比普通探針差,使用時導電鍍層容易脫落。
           
          原子力顯微鏡的優(yōu)缺點
           
          1.優(yōu)點
          原子力顯微鏡觀察到的圖像相對于掃描電子顯微鏡,原子力顯微鏡具有許多優(yōu)點。不同于電子顯微鏡只能提供二維圖像,AFM提供真正的三維表面圖。同時,AFM不需要對樣品的任何特殊處理,如鍍銅或碳,這種處理對樣品會造成不可逆轉的傷害。第三,電子顯微鏡需要運行在高真空條件下,原子力顯微鏡在常壓下甚至在液體環(huán)境下都可以良好工作。這樣可以用來研究生物宏觀分子,甚至活的生物組織。
           
          2.缺點
          和掃描電子顯微鏡(SEM)相比,AFM的缺點在于成像范圍太小,速度慢,受探頭的影響太大。原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope)是繼掃描隧道顯微鏡(Scanning Tunneling Microscope)之后發(fā)明的一種具有原子級高分辨的新型儀器,可以在大氣和液體環(huán)境下對各種材料和樣品進行納米區(qū)域的物理性質包括形貌進行探測,或者直接進行納米操縱;現(xiàn)已廣泛應用于半導體、納米功能材料、生物、化工、食品、醫(yī)藥研究和科研院所各種納米相關學科的研究實驗等領域中,成為納米科學研究的基本工具。原子力顯微鏡與掃描隧道顯微鏡相比,由于能觀測非導電樣品,因此具有更為廣泛的適用性。當前在科學研究和工業(yè)界廣泛使用的掃描力顯微鏡(Scanning Force Microscope),其基礎就是原子力顯微鏡。

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