API激光干涉儀介紹
API激光干涉儀技術(shù)參數(shù):
5D/6D標準型:
1. API激光干涉儀線性:0.5ppm
2. API激光干涉儀測量范圍:40米(1D可選80米)
3. API激光干涉儀偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
4. XD LASER API激光干涉儀大范圍:800角秒
5. 滾動角精度:1.0角秒
6. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
7. 大范圍:500um
8. 垂直度精度:1角秒
9. 溫度:0.2攝氏度
10.濕度:5%
11.壓力:1mmHg
API激光干涉儀5D/6D精密型:
1. 線性:0.2ppm
2. 測量范圍:25米
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%顯示較大值
4. 大范圍:400角秒
5. 滾動角精度:0.5角秒
6. 直線度精度:(0.5+0.1/m)um或1%顯示較大值
7. 大范圍:300um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 溫度:0.1攝氏度
10.濕度:3%
11.壓力:0.3mmHg
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