高規(guī)格半自動四探針電阻/比電阻/薄層電阻測量儀-可根據(jù)客戶需求定制
日本napson高規(guī)格半自動四探針電阻/比電阻/薄層電阻測量儀RT-3000 / RG-2000(RG-3000)
可根據(jù)客戶要求進行各種定制
產(chǎn)品特點
- 具有醉佳電阻測量范圍的4探針法測量儀
- 測量模式可編程和圓形/方形測量兼容的繪圖軟件
- 自檢功能,厚度/外圍位置/溫度補償功能(用于硅)
- 根據(jù)電阻范圍從兩種類型的測試儀中選擇
- (RT-3000(S):寬范圍的測量范圍,RT-3000(H):高阻的測量范圍)
測量規(guī)格
測量目標
- 與半導體/太陽能電池相關(guān)的材料(硅,多晶硅,SiC等)
- 新材料/功能材料(碳納米管,DLC,石墨烯,銀納米線等)
- 導電薄膜相關(guān)(金屬,ITO等)
- 擴散樣本
- 硅基薄膜(LTPS等),IGZO
- 硅基外延離子注入樣品
- 其他(*請與我們聯(lián)系)
測量尺寸
?8英寸,或?156x156mm
-選項(兼容大直徑尺寸:RG-3000型):?12英寸,?210 x 210毫米
測量范圍
①RT-3000(S);
[電阻(比電阻)]100μ至1MΩ·cm
[片材電阻] 1m至10MΩ/
sq②RT-3000(H);
[片材電阻] 10m至1GΩ/ sq
映射圖像
日本napson高規(guī)格半自動四探針電阻/比電阻/薄層電阻測量儀RT-3000 / RG-2000(RG-3000)
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