掃描電子顯微鏡(sem)更重要的功能是觀察和分析樣品的微觀形貌。如何獲得清晰、實(shí)用的形象才是終的目標(biāo)。為了獲得良好的圖像,顯微鏡物鏡供應(yīng)商結(jié)合現(xiàn)有數(shù)據(jù),總結(jié)了以下步驟:
(1) 在較低的放大倍數(shù)下,可在流動(dòng)取樣階段找到待分析、放大和聚焦的樣品。較簡單的方法是找出邊界明顯的特征點(diǎn),利用對(duì)比度、亮度、放大倍數(shù)和焦距來制作圖像。盡可能清楚,然后根據(jù)樣本尋找或選擇感興趣的分析點(diǎn)。
(2) 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或通過旋轉(zhuǎn)光柵中圖像組的角度選擇適當(dāng)?shù)姆糯蟊稊?shù)。另外,為了拍出好照片,我們不僅要解釋問題的學(xué)術(shù)價(jià)值,還要考慮全景的美。
顯微鏡
(3) 在原有放大倍數(shù)的基礎(chǔ)上,使散焦倍率和倍率更有效。這時(shí),你可以選擇縮小要聚焦的區(qū)域。屏幕上會(huì)有一個(gè)小區(qū)域。在這個(gè)小范圍內(nèi),掃描速度更快,這有助于確定入射角。只有將焦距調(diào)整到正焦距,入射光束的低焦或過焦才能使圖像模糊,每小時(shí)消除快速散光,使圖像細(xì)節(jié)清晰。
(4) 調(diào)整感興趣的分析區(qū)域的對(duì)比度和亮度,使整個(gè)視野的襯里不僅具有清晰的黑白水平,而且還保持適當(dāng)?shù)膶?duì)比度,使表面層次和細(xì)節(jié)豐富。否則,如果圖像變暗,請減少暗部的細(xì)節(jié)。過飽和或過暗會(huì)降低亮度,導(dǎo)致細(xì)節(jié)丟失。
觀測10000次以上時(shí),必須消除像散,然后對(duì)焦。當(dāng)焦距較低時(shí),焦距過大,垂直方向細(xì)長,焦距不伸長,但不明顯。聚焦在正片上,調(diào)整散光的時(shí)間、位置和大小,直到圖像清晰。如果圖像被拉長,散光被消除。此時(shí),由于掃描E,聚焦完成。電子顯微鏡的焦距改變了放大倍數(shù)。因此,對(duì)焦時(shí)間一般是放大倍數(shù)的2-3倍,或者是觀察次數(shù)的倍數(shù),這樣更容易判斷是否為正。用于調(diào)整圖像的焦距旋鈕更清晰。移動(dòng)樣品后,樣品將達(dá)到一定高度。
如果象散或大振幅像散裝置不能以較低的速率改變像散的振幅或方向,則必須考慮電子束軸是否損壞,光學(xué)棒是否嚴(yán)重污染,樣品是否為磁性,電子光通道中是否有雜質(zhì),或者有問題的時(shí)候,應(yīng)該有針對(duì)性地進(jìn)行處理,進(jìn)行正常的觀察和分析。
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