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          探針臺技術(shù)指導(dǎo)

          來源:北京錦正茂科技有限公司   2020年08月11日 09:54  


          選型注意事項:

          ※大需要測幾inch的晶圓或者器件!是否需要測試破片或者單顆芯片!小的單顆芯片尺寸!

          ※探針臺機械精度要求多高!

          ※點測樣品的電極尺寸!100μm *100μm或60μm *60μm的pad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內(nèi)部的metal線路!

          ※多需要幾個探針同時去點測!

          ※是否會用到探針卡測試!

          ※光學(xué)顯微鏡的小分辨率需要用到多少!

          ※顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測!

          ※探針點測時,對電流的要求是否達到100fa或者以下!低

          電容要求是否要做到0.1pf!是否有射頻需求!

          ※接駁的測試儀器接口有哪些!

          ※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫! 是否需要密閉腔體!

          ※對chuck的漏電要求怎樣!是否需要添加低阻抗chuck!

          ※是否需要防震桌!

          ※若添置防震桌,是否有壓縮空氣!



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