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更新時(shí)間：2022-11-30 17:51:41瀏覽次數(shù)：164評(píng)價(jià)

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產(chǎn)品分類品牌分類

RIE Etching

全部產(chǎn)品列表

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PlasmaPro 800系列是結(jié)構(gòu)緊湊、且使用方便的直開(kāi)式系統(tǒng)，該系統(tǒng)為大批量晶圓和300mm晶圓上的反應(yīng)離子蝕刻（RIE）工藝提供了靈活的解決方案。大尺寸的晶圓平臺(tái)能夠處理量產(chǎn)級(jí)別的批量以及300mm晶圓的工藝。詢價(jià) 增加到詢價(jià)列表在詢價(jià)列表中查看此產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

PlasmaPro 800具有460mm直徑的工作臺(tái)，擁有處理整片的300mm晶圓或批量43 x 50mm（2”）晶圓的能力，可提供全套量產(chǎn)解決方案。PlasmaPro 800是的市場(chǎng)前列產(chǎn)品。

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