目錄:北京卓立漢光儀器有限公司>>工業(yè)產(chǎn)品>>電動(dòng)直線滑臺(tái)>> 大范圍壓電掃描臺(tái)Carrier.L7550.XY
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更新時(shí)間：2024-05-21 07:43:13瀏覽次數(shù)：1397評(píng)價(jià)
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
|---|
室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ 大行程載物臺(tái) — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征
• XY ?向??程 75 mm × 50 mm
• 最?步伐尺?約20 nm
• 最?速度 20 mm/s
• 閉環(huán)傳感，空間分辨率 100 nm / 10 nm
• 全?程運(yùn)動(dòng)中，保證通孔 85 mm × 65 mm
• ?持?磁 ( .NM ) & 超?真空 ( .UHV )
• 主體鋁合?(硬質(zhì)氧化發(fā)?)
2D ·尺?圖
Carrier.L7550.XY ?范圍壓電掃描臺(tái) — 技術(shù)參數(shù)
可選版本 ? | 正常版本 | .NM | .HV | .UHV |
.NM 絕對(duì)?磁版本； .HV， ?真空版本 ; .UHV ，超?真空版本； | ||||
1 運(yùn)動(dòng)?向 | X Y | |||
2 外形尺? | 250 mm × 200 mm × 30 mm | |||
3 必須安裝空間 | 325 mm × 250 mm | |||
4 有效穿孔 | 85 mm × 65 mm | |||
5 主體材料 | 鋁合? | |||
6 線纜 & 接頭 | 標(biāo)準(zhǔn)屏蔽線纜 DSub9 接頭 | kapton漆包線， PEEK-2mm插針 | ||
7 ?作溫度 | 10 – 40 °C | |||
運(yùn)動(dòng)參數(shù)-空間推薦安裝形式 I. (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測(cè)得) | ||||
8 運(yùn)動(dòng)?程 | 75 mm × 50 mm | |||
9 最?速度 | ~ 20 mm/s | |||
10 最?步伐 | ~ 30 nm | |||
11 驅(qū)動(dòng)頻率 | Max. 20 kHz (超安靜運(yùn)動(dòng)) | |||
12 最?負(fù)載 | 2 kg | |||
13 全?程俯仰/偏擺 | 0.8 mrad | |||
傳感精度 | ||||
14 位置傳感類型 | - 電阻型傳感( .R ) - 光柵尺傳感( .O ) | |||
75 mm × 50 mm | ||||
15 位置傳感量程 | ||||
- 電阻型傳感( .R )， 100-200 nm - 光柵尺傳感( .O )， 10 nm， 1nm可選(默認(rèn) 10nm) | ||||
16 位置傳感分辨率 | ||||
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
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