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參考價(jià): | ¥ 6452 |
訂貨量: | 1件 |
- 晶圓厚度 產(chǎn)品型號(hào)
- KAKUHUNTER/寫真化學(xué) 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù):8更新時(shí)間:2024-12-13 17:43:41
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- 韓政
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品,化工,電子,電氣,綜合 | 訂貨號(hào) | 176.0755.4908 |
常規(guī)的“攪拌模式/消泡模式"外,增加了新的中間模式。
在保持操作簡(jiǎn)便的同時(shí),現(xiàn)在可以選擇適合更廣泛應(yīng)用和材料的模式。
KAKUHUNTER寫真化學(xué) 測(cè)繪膜自動(dòng)薄膜厚儀
KAKUHUNTER寫真化學(xué) 測(cè)繪膜自動(dòng)薄膜厚儀
特征
測(cè)繪膜厚儀能夠自動(dòng)測(cè)繪晶圓整個(gè)表面的膜厚,最大可達(dá)300毫米。自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能和高度平坦的晶圓吸盤可實(shí)現(xiàn)高度可靠的膜厚測(cè)量。 另外,通過設(shè)置在半導(dǎo)體制造裝置的裝載口,可以在保持清潔度的同時(shí)管理制造裝置上的膜厚。
1可對(duì)最大 300mm 的晶圓進(jìn)行全表面自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪
2自動(dòng)對(duì)位功能
3通過使用具有高平坦度的晶圓卡盤,提高了晶圓平面內(nèi)的測(cè)量可靠性
通過自動(dòng)檢測(cè)缺口和定向平面位置以及自動(dòng)檢測(cè)晶圓偏心,實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
4可以根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源
5透明蓋使測(cè)量過程中的運(yùn)動(dòng)一目了然
6一體化設(shè)計(jì)節(jié)省空間
測(cè)量數(shù)據(jù)示例(2D膜厚分布)
貼合晶圓的硅厚度(nm)
測(cè)量數(shù)據(jù)示例(3D膜厚分布)
貼合晶圓的硅厚度(nm)
測(cè)量數(shù)據(jù)示例(膜厚頻率分布)
貼合晶圓的硅厚度
測(cè)量數(shù)據(jù)示例(多個(gè)晶圓的膜厚分布箱線圖)
5個(gè)晶圓的膜厚分布趨勢(shì)
代理品牌:CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈
NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山
優(yōu)勢(shì)品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC
S-VANS斯萬(wàn)斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野
IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮
HEIDON新東、KURABO倉(cāng)紡、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫(kù)斯、YODOGAWA淀川等
優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品:日本紫外線照度計(jì)、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測(cè)燈
變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機(jī)、電子天平、粘度計(jì)、膜厚計(jì),恒流泵、采樣泵、PH計(jì)、水分計(jì)、地震測(cè)試儀、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器、氣體檢測(cè)儀,接近開關(guān)、拉拔機(jī)、異音檢測(cè)儀、離心機(jī),下死點(diǎn)檢測(cè)裝置、空氣測(cè)量泵、應(yīng)變測(cè)試儀等期待您的咨詢。