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當(dāng)前位置:研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司>> Nikon S308F掃描式光刻機
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-22 16:37:31瀏覽次數(shù):45次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)Nikon S308F
1.Nikon S308F掃描式光刻機
光源波長193nm
分辨率優(yōu)于0.07µm
主要用于4寸、6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.07µm
N.A.0.92
曝光光源193nm
倍率4:1
曝光現(xiàn)場26mm*33mm
對準精度12nm
3.更多服務(wù)
提供中英文軟件及4"、6"、8"、12"設(shè)備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
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