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當(dāng)前位置：研啟科學(xué)儀器（東莞）有限公司>> Nikon NSR 2005i10C步進(jìn)式光刻機(jī)
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間：2024-10-22 16:33:06瀏覽次數(shù)：25次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 化工儀器網(wǎng)Nikon NSR 2005i10C
1.Nikon NSR 2005i10C步進(jìn)式光刻機(jī)
光源波長365nm
分辨率優(yōu)于0.45µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.45µm
N.A.0.57
曝光光源365nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場20mm*20mm
對準(zhǔn)精度
LSA：100nm
FIA：110nm
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