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當前位置:深圳秋山工業(yè)設備有限公司>>外觀分析設備>>測量裝置>> AFM-30日本nisshooptical微米深度高度測量裝置
產(chǎn)品型號AFM-30
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-12 17:19:22瀏覽次數(shù):197次
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日本nisshooptical微米深度高度測量裝置 AFM-30 特點介紹
這是一種新型深度和高度測量裝置,結(jié)合了使用光切割的狹縫圖像觀察和使用聚光圖像的AF(自動對焦)跟蹤。
連續(xù)跟蹤自動對焦驅(qū)動可實現(xiàn)快速、易于使用的測量,并具有高重復性。
由于該方法在觀察狹縫圖像投影的臺階形狀的同時進行測量,因此可以實時識別測量屏幕上的高度,從而輕松確定需要測量的區(qū)域。
這是一種狹縫圖像、點光圖像和電子線參考線的中心在測量點處都重合的測量系統(tǒng),通過檢查錯位,可以防止測量值錯誤。
光切割仰角可根據(jù)應用場合從標準90°至30°、60°、120°中選擇。
日本nisshooptical微米深度高度測量裝置 AFM-30 規(guī)格參數(shù)
■ 觀察方法
光學切割法(利用狹縫光學系統(tǒng)測量深度和高度)
■ 物鏡
固定放大倍率:10倍(也可提供5倍和20倍)
■ Z軸驅(qū)動方式
使用聚光燈的 AF 連續(xù)跟蹤方法(可離線手動測量)
■ 投影狹縫
10μm半反射鏡型
■ Z軸測量
Z軸數(shù)字線性規(guī)0.1μm讀數(shù)
■ 重復性
±1μm以內(nèi)
■ 使用的光源
半導體激光器(2級)、鹵素光源
清晰顯示深度、高度和水平差的光學切割方法...自動捕捉代表橫截面形狀的細縫光、紅色激光點和水平差的變化,Z軸功能快速跟隨,并以數(shù)字方式記錄測量值。這是一種新型深度/高度測量裝置,結(jié)合了顯示功能(自動對焦系統(tǒng))和電子線法參考線,擴大了測量范圍,增加了其實用價值。
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