目錄:多場低溫科技（北京）有限公司>>壓電運(yùn)動·室溫>>緊湊型·掃描臺>> SH30.xyz.CXYZ三維壓電掃描臺，高負(fù)載，兼容高真空
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,電氣,綜合 |
壓電·三維掃描運(yùn)動 SH30.xyz.C
? 針對精密光學(xué)、半導(dǎo)體表征等“3自由度掃描運(yùn)動"需求的定制解決方案
• 三維度XY掃描運(yùn)動 30 um x 30 um x 15 um；
• 外形尺寸，160 mm x 160 mm x 35 mm；
• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 0.3 nm；
• 最大負(fù)載10 kg；
• 支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級；
XYZ三維壓電掃描臺，高負(fù)載，兼容高真空——詳細(xì)參數(shù)：
XYZ三維壓電掃描臺，高負(fù)載，兼容高真空——尺寸圖：
多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含：
S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列；
SD —— 高動態(tài)系列；
SH —— 高負(fù)載系列。
S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運(yùn)動、Z軸單維度運(yùn)動、XY軸雙維度運(yùn)動和XYZ軸三維度運(yùn)動等應(yīng)用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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