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          北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司
                                                                        
          
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          15510102388
          
								
          
							
          
                            						
          
					
          
										
				
          
			
          
			
          
				
          
					
				
          
			
          
		
          

		
		 
				
          
			
          
				
          
					
          
						
          當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> SHASHIN自動檢測晶圓偏心率測厚儀
          
					
          
				
          
			
          
		
          

	
          
		
          
			
          SHASHIN自動檢測晶圓偏心率測厚儀
          
		
          
		
          
			
		
          
	
          
	
          
		
          
			
          
				
          
					
            
						
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							SHASHIN自動檢測晶圓偏心率測厚儀
						
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          貨物所在地：北京北京市
          
                                        					
          所在地：         日本
          
                    					
          更新時間：2024-11-02 16:08:35
          
					
          瀏覽次數(shù)：9
          
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          ( 聯(lián)系我們，請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝！）
          
						                
          
				
          
			
          
		
          
	
          
	
          
		
          
				
			
          
				
          
					
					
          
							SHASHIN自動檢測晶圓偏心率測厚儀，此外，它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負(fù)載端口，以在保持清潔度的同時管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。

					
          
					
          長處
          映射涂層測厚儀能夠在最大 300 mm 的晶圓的所有表面上自動映射膜厚測量。 自動對位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實現(xiàn)可靠的薄膜厚度測量。 此外，它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負(fù)載端口，以在保持清潔度的同時管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。

            • 1
            • 能夠?qū)ψ畲?300 mm 的晶圓的整個表面進(jìn)行自動涂層厚度映射測量

            • 2
            • 自動對位功能

            • 通過自動檢測缺口和無花柱位置，以及自動檢測晶圓偏心率，實現(xiàn)高精度測量。
            • 3
            • 通過使用具有高平整度的晶圓卡盤，提高晶圓表面的測量可靠性

            • 4
            • 可根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源。

            • 5
            • 透明蓋，便于在測量過程中查看運(yùn)動

            • 6
            • 一體化節(jié)省空間的設(shè)計
          • 測量數(shù)據(jù)示例（2D 膜厚分布）層壓晶圓的硅
            厚度 （nm）
          • 測量數(shù)據(jù)示例（3D 薄膜厚度分布）層壓晶圓的硅厚度
            （nm）
          • 測量數(shù)據(jù)示例（薄膜厚度的頻率分布）層壓晶圓中的硅厚度
          • 測量數(shù)據(jù)示例（多個晶圓的膜厚分布箱線圖）5 個晶圓的膜厚分布趨勢

          
                                                                				
          
			
          
		
          
	
          
		



  
    
    				
			 
    
    

    

     
      
     
	 

 
	 
	
	
	

          
	
          
		
          
			
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