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        1. 北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司
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          寫真化學(xué)所有晶圓表面自動映射膜厚測厚儀
          • 寫真化學(xué)所有晶圓表面自動映射膜厚測厚儀
          舉報

          貨物所在地:北京北京市

          地: 日本

          更新時間:2024-11-02 15:31:04

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          寫真化學(xué)所有晶圓表面自動映射膜厚測厚儀,自動對位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實現(xiàn)可靠的薄膜厚度測量。 此外,它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負載端口,以在保持清潔度的同時管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。

            • 1

            • 能夠?qū)ψ畲?300 mm 的晶圓的整個表面進行自動涂層厚度映射測量


            • 2

            • 自動對位功能


            • 通過自動檢測缺口和無花柱位置,以及自動檢測晶圓偏心率,實現(xiàn)高精度測量。

            • 3

            • 通過使用具有高平整度的晶圓卡盤,提高晶圓表面的測量可靠性


            • 4

            • 可根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源。


            • 5

            • 透明蓋,便于在測量過程中查看運動


            • 6

            • 一體化節(jié)省空間的設(shè)計


          映射涂層測厚儀能夠在最大 300 mm 的晶圓的所有表面上自動映射膜厚測量。 自動對位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實現(xiàn)可靠的薄膜厚度測量。 此外,它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負載端口,以在保持清潔度的同時管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。

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