反射涂層厚度監(jiān)測儀是一種光學干涉反射光譜涂層測厚儀，它使用微型反射探頭，可應(yīng)用于從實驗室級別到生產(chǎn)過程中的在線檢查的所有情況。它具有出色的可維護性，可用于集成到工藝設(shè)備和生產(chǎn)線管理應(yīng)用中。
最多可同時測量 9 種類型的透明膜。
它具有出色的可維護性，可用作工藝設(shè)備或生產(chǎn)線管理應(yīng)用的集成。
例如，在沉積、拋光和蝕刻過程中，它可以用作在線監(jiān)視器或終點監(jiān)視器（終點檢測傳感器），從而實現(xiàn)薄膜厚度的實時監(jiān)控（實時監(jiān)控）。
它還可用于評估多晶硅的結(jié)晶度和多孔薄膜的密度。

測量數(shù)據(jù)示例

測定スペクトルと膜厚短期再現(xiàn)性の例

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測量數(shù)據(jù)示例

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